Theses (KFY)
Permanent URI for this collection
Browse
Recent Submissions
Item Badatelsky orientované laboratorní práce z fyziky inspirované návody k školním měřícím systémům(Západočeská univerzita v Plzni, 2024) Aul, Daniel; Kohout Jiří, Doc. Mgr. Ph.D.; Kielbusová Zdeňka, PhDr.Diplomová práce se skládá vedle stručného Úvodu a Závěru z pěti částí (kapitol). V první části se věnuje školním měřícím systémům, které jsou používány nejčastěji a literatuře o nich pojednávající. V druhé části je zohledněna badatelsky orientovaná výuka a analýza laboratorních prací daných měřících systémů z pohledu badatelství. Třetí část se zabývá dotazníkovým šetřením mezi pedagogy středních škol, které má za cíl zjistit současné znalosti, postoje a míru využívání měřících systémům s akcentem na badatelsky orientované aktivity. V předposlední kapitole jsou navrženy laboratorní úlohy, které splňují vyšší stupeň badatelství a zároveň jsou proveditelné s běžně dostupnými pomůckami. V poslední kapitole je otestována jedna z navržených úloh v praxi.Item Spintronics - mechanická stavebnice modelující elektrické obvody a její využítí ve školské praxi(Západočeská univerzita v Plzni, 2024) Eret, Daniel; Masopust Pavel, PhDr. Ph.D.; Kratochvíl Pavel, PhDr. Ph.D.Tato diplomová práce se zabývá možností využití mechanické stavebnice Spintronics, jež modeluje elektrické obvody, v rámci výuky fyziky. Úvodní část je zaměřena na význam modelů a analogií, jejich konkrétní druhy a praktické využití. Dále prozkoumává žákovské prekoncepty a miskoncepty, jejich vznik a možné způsoby práce s nimi. Hlavní důraz je přitom kladen na jejich představy týkající se elektrických obvodů. Následuje vlastní rozbor stavebnice Spintronics zaměřený na její fungování a realizaci analogie, jež využívá. Zvláštní pozornost je přitom kladena na školskou praxi, k čemuž zde naleznete i pasáž, doporučující několik aktivit s touto stavebnicí. Poslední částí je výzkum její využitelnosti ve školním prostředí a zhodnocení výsledků.Item Tenkovrstvé materiály na bázi Cu-O připravované pomocí HiPIMS pro rozklad vody(Západočeská univerzita v Plzni, 2024) Vosejpka, Jan; Čapek Jiří, Doc. Ing. Ph.D.; Rusňák Karel, Doc. RNDr. CSc.Tato práce se zabývá přípravou tenkých vrstev materiálu Cu2O pomocí vysokovýkonového pulsního magnetronového naprašování (HiPIMS) pro fotokatalytické aplikace s důrazem na fotoelektrochemický rozklad vody. Nejprve jsou diskutovány rozdíly mezi HiPIMS a stejnosměrným magnetronovým naprašováním (DCMS). Uvedené jsou změny struktury a textury vrstvy připravované za různých parciálních tlaků kyslíku O2, teplot substrátu a nebo způsobené žíháním. V případě hodnoty O2 = 0,30 Pa vznikal během procesu HiPIMS cílený jednofázový materiál Cu2O. Při těchto podmínkách byl materiál připraven na substrát bez dodatečného ohřevu, ale i na substrát vyhřívaný během depozice na 400 C. Na takto vyhřátém křemíkovém substrátu navíc roste nanostrukturovaná vrstva. Zakázaný pás Cu2O připraveného pomocí HiPIMS je přibližně 2,5 eV. Dále je v práci diskutována příprava vrstev Cu2O na elektrody s vodivou vrstvou FTO a vliv O2, teploty substrátu, tloušťky vrstvy a teploty žíhání na fotoelektrochemické vlastnosti vrstev. Míru fotoaktivity nejvíce ovlivňuje teplota žíhání, která má velký vliv na krystalinitu vrstvy, která zase příhodně ovlivňuje fotoelektrochemické charakteristiky vrstvy. Krystalinitu ovlivňuje i teplota substrátu během depozice. Z pohledu fotoelektrochemických vlastností je výhodný vyšší obsah kyslíku ve vrstvě, než odpovídá jednofázovému Cu2O a tloušťka vrstvy přibližně 200 nm. Vrstva s největší fotoaktivitou měla fotoproud 0,36 mA/cm2 na potenciálu 0,13 V vs. RHE.Item Magnetronová depozice tenkovrstvých slitin ze systému W-Zr-Cu(Západočeská univerzita v Plzni, 2023) Hodan, Ondřej; Zeman Petr, Prof. Ing. Ph.D.; Rezek Jiří, Ing. Ph.D.Tato diplomová práce se zabývá přípravou a zkoumáním magnetronově naprašovaných tenkovrstvých materiálů ze systému W-Zr-Cu. Jedná se o zcela nové materiály, o kterých zatím nebyla publikována žádná studie. Cílem práce bylo připravit tyto materiály s širokém rozsahu složení a charakterizovat je pomocí různých analytických metod. Vrstvy byly zkoumány z hlediska struktury, mikrostruktury a povrchové morfologie pomocí rentgenové difrakce, skenovací elektronové mikroskopie a mikroskopie atomárních sil. Dále pak byly indetačními metodami měřeny mechanické vlastnosti, přičemž byl brán ohled na přítomnost pile-up efektů. V neposlední řadě byla také měřena elektrická rezistivita pomocí čtyřbodové metody. Naměřená data byla zpracovávána a diskutována v kontextu současného poznání dílčích systémů Zr-Cu, W-Zr a W-Cu.Item Optická emisní spektroskopie ve vysokovýkonovém impulzním magnetronovém rozprašování multikomponentního terče(Západočeská univerzita v Plzni, 2023) Němcová, Veronika; Pajdarová Andrea Dagmar, Mgr. Ph.D.; Kozák Tomáš, Doc. Ing. Ph.D.Tato diplomová práce se zabývá zjišťováním trendů v chování jednotlivých druhů částic, kterými byly atomy a ionty argonu, niobu a uhlíku, v různých oblastech plazmatu při rozprašování terče složeného z více prvků, v tomto případě NbC. Dále se také zabývá stanovením průměrných koncentrací těchto částic, jejich vývojem v závislosti na čase a určením excitačních teplot. Použitou experimentální metodou je optická emisní spektroskopie (OES), což je nejjednodušší metoda využívaná k diagnostice plazmatu a chování částic v něm. Teoretická část se zabývá problematikou magnetronového naprašování, konkrétně vysokovýkonového impulzního magnetronového naprašování neboli HiPIMS, a představuje různé analytické metody. Kromě OES je zde také popsána Langmuirova sonda, hmotnostní spektroskopie a metoda založená na poměrech koncentrace excitovaného stavu a výbojového proudu. Při experimentálním měření intenzity emisních čar byl použit systém OES, který pomocí kolimátoru snímal světlo z plazmového výboje. Světlo poté bylo vedeno optickým vláknem do spektrografu opatřeného ICCD kamerou. Následně získaná data byla analyzována a vyhodnocena. V rámci tohoto vyhodnocení byl proveden výpočet koncentrace částic, jejich závislosti na čase a stanovení excitační teploty. Výsledky této práce budou dále využity ve výzkumu zabývajícím se vysokovýkonovým magnetronovým naprašováním.Item Příprava a charakterizace tenkých vrstev transparentních vodivých oxidů pomocí magnetronového naprašování(Západočeská univerzita v Plzni, 2023) Koloros, Jan; Rezek Jiří, Ing. Ph.D.; Pajdarová Andrea Dagmar, Mgr. Ph.D.Hlavním tématem této diplomové práce je depozice transparentních vodivých oxidů mědi pomocí magnetronového naprašování a měření jejich elektrických a transparentních vlastností, jako je elektrická rezistivita, koncentrace, pohyblivost volných nosičů náboje a optická transparentnost připravovaných tenkých vrstev. Jednotlivé připravované tenké vrstvy se liší svými depozičními podmínkami, jako stěžejní se uvažuje vliv změny průtoku reaktivního plynu (kyslíku a dusíku). V závislosti na množství průtoku kyslíku při depozici dochází ke změnám optické transparentnosti a elektrické rezistivity připravovaných transparentních vodivých oxidových vrstev. Kyslík je zde dodáván za účelem vytvoření tenké transparentní vodivé vrstvy s p-typovou vodivostí. V případě změny průtoku dusíku, za konstantního množství kyslíku v depozicích, se také mění elektrické a transparentní vlastnosti transparentních vodivých oxidů. Jako další byly v praktické části práce vybrány depoziční parametry, které poskytují ideální kompromis mezi optickou transparentností a elektrickou rezistivitou, aplikovány na čtyři vybrané geometrie za účelem zkoumání přesnějších výsledků měření koncentrace a pohyblivosti volných nosičů náboje s použitím van der Pauwovy metody.Item Modelování růstu kovových nanočástic v agregační komoře magnetronového nanočásticového zdroje(Západočeská univerzita v Plzni, 2021) Teřl, Vít; Kozák Tomáš, Ing. Ph.D.; Pajdarová Andrea Dagmar, Mgr. Ph.D.Tato práce se zabývá růstem nanočástic v magnetronovém zdroji nanočástic a modelování procesů probíhajících ve zdroji. Cílem této práce bylo nastudovat fyzikální procesy tvorby nanočástic v plynné fázi, které nastávají ve zdroji nanočástic a na základě toho vytvořit počítačový model. Model je založený na kinetické Monte Carlo metodě. Čistá kinetická Monte Carlo by pro tuto simulaci byla nedostatečná, proto upravujeme algoritmus pomocí tzv. prahové metody (v originále Threshold method). V práci je popsána implementace tohoto modelu se všemi nutnými základními procesy pro vznik, růst a pohyb nanočástic v komoře. Hlavním výsledkem simulace je rozdělení velikostí nanočástic na výstupu ze zdroje nanočástic. V poslední části byla provedena diskuze výsledků simulace pro tři různé režimy a pro vypnutí některých procesů v simulaci. Výsledky byly porovnány s experimentálními výsledky. Pro některé parametry simulace model odhaduje trendy experimentálních výsledků přesně, pro jiné je daný model nedostatečný a je provedena diskuze, které limitace modelu je vhodné vylepšit.Item Simulace deformace a studium dislokační struktury v FCC krystalu(Západočeská univerzita v Plzni, 2021) Benediktová, Anna; Jandová Dagmar, Doc. RNDr. Ph.D.; Kos Šimon, Doc. Mgr. Ph.D.Tato diplomová práce se zabývá studiem plastické deformace FCC krystalu na submikroskopické úrovni. Byla simulována 5% deformace hliníku, nelegované oceli a Cantorovy slitiny pomocí molekulární dynamiky v programu LAMMPS a transmisním elektronovým mikroskopem (TEM) byla pozorována a analyzována dislokační struktura chrómmanganové oceli a Cantorovy slitiny. V simulacích i v TEM bylo shodně vyhodnoceno, že deformace se uskutečňuje výhradně skluzem dislokací, byly nalezeny shodné typy dislokací, interakce mezi nimi a tvar dislokačních čar.Item Předpověď struktury vrstev ZnO a ZnOx vytvářených atom po atomu pomocí různých verzí klasické molekulární dynamiky(Západočeská univerzita v Plzni, 2021) Hantová, Kamila; Houška Jiří, Doc. Ing. Ph.D.; Novák Petr, Ing. Ph.D.Tato práce se věnuje modelování tenkých vrstev ZnO a ZnOx pomocí různých druhů klasické molekulární dynamiky. Interakce mezi atomy je popsána pomocí Buckinghamova potenciálu a reactive force field potenciálu, které byly nalezeny v literatuře. Dále byla ověřena jejich fyzikální správnost. Simulace probíhaly za využití software LAMMPS. Pro zadání jednotlivých simulací byly nalezeny parametry pro nanášení atomů na substrát. Na krystalický substrát ZnO přilétaly jednotlivé atomy zinku a kyslíku. Byly sledovány vlastnosti vzniklých tenkých vrstev v závislosti na energii přilétajících atomů, množství pomalých atomů, teplotě simulačního prostředí a poměru množství atomů kyslíku a zinku. Ukázalo se, že jednotlivé parametry mají vliv na pórovitost a krystalitu vzniklých vrstev. V případě rozdílného množství atomů zinku a kyslíku, mělo množství kyslíku vliv na rychlost růstu a amorfnost tenké vrstvy.Item Magnetronová depozice tenkovrstvých kovových slitin ze systémů W-Cu a W-Zr(Západočeská univerzita v Plzni, 2020) Dvořák, Tomáš; Zeman Petr, Prof. Ing. Ph.D.; Rusňák Karel, Doc. RNDr. CSc.Tato diplomová práce je zaměřena na studium struktury a vlastností tenkovrstvých slitin ze systémů W-Cu a W-Zr. Byly připraveny dvě série vrstev v širokém rozsahu složení od 100 at. % W po 100 at. % Cu, respektive Zr. Obě série tenkých vrstev byly připraveny v atmosféře Ar. Série W-Zr byla připravena pomocí stejnosměrného magnetronového naprašování (DCMS), série W-Cu byla připravena kombinací DCMS a vysokovýkonového magnetronového naprašování. Bylo zjištěno, že díky nerovnovážnému procesu magnetronového naprašování všechny vrstvy ze za normálních podmínek nemísitelného systému W-Cu tvoří tuhé roztoky. Bylo zjištěno, že v rozsahu složení od 33 do 83 at. % Zr mají vrstvy W-Zr amorfní strukturu a podle následných analýz by se mohlo jednat o kovová skla. Pro určitá složení W-Zr (nad 83 at. % Zr) se ve struktuře vyskytuje vysokoteplotní ß-Zr fáze. Dále bylo zjištěno, že do určitého obsahu příměsi dochází u obou sérií k nárůstu tvrdost oproti vrstvě čistého W. U vrstev W-Cu byly navíc provedeny termické analýzy a ukázalo se, že pro nižší obsah Cu jsou tuhé roztoky W-Cu stabilní proti fázovým změnám. Do 18 at. % Cu má přidávání Cu pozitivní vliv na oxidační odolnost vrstev.Item Pulzní reaktivní magnetronové naprašování termochromických povlaků na bázi VO2(Západočeská univerzita v Plzni, 2020) Čurda, Pavel; Vlček Jaroslav, Prof. RNDr. CSc.; Kos Šimon, Doc. Mgr. Ph.D.Tato práce je zaměřena na reaktivní depozici V1-xWxO2 termochromických povlaků pomocí vysokovýkonového pulzního magnetronového naprašování. Jsou uvedeny průmyslové nároky na termochromické povlaky a jejich možné dosažení využitím dopování dalších prvků a antireflexní vrstvy. Mezi často dopované prvky patří wolfram, který efektivně snižuje přechodovou teplotu. Antireflexní vrstvy slouží zejména k vylepšení optických vlastností. Popsána je také depoziční aparatura a analytické metody, jako jsou rentgenová difrakce, elipsometrie, spektrofotometrie a vlnově disperzní spektroskopie. V experimentální části byly připraveny vzorky ZrO2/V1-xWxO2/ZrO2. Je ukázán průběh transmitance a porovnání vlivu depozičních parametrů na technologickou náročnost procesuItem Teoretický popis otráveného terče při reaktivním rozprašování feromagnetických kovů pod a nad Curieovou teplotou(Západočeská univerzita v Plzni, 2020) Lerchová, Tereza; Houška Jiří, Doc. Ing. Ph.D.; Kozák Tomáš, Ing. Ph.D.Předkládaná diplomová práce se v úvodu věnuje aplikacím oxidů feromagnetických kovů (Fe, Co a Ni) a stručně popisuje co je to naprašování a specifika reaktivní depozice. V další kapitole popisuje kvantové výpočty a metodu DFT. Dává stručný vhled do problematiky simulací oxidace výše zmíněných prvků. Tato kapitola také obsahuje teoretický popis dalších přechodových prvků a jejich oxidace během reaktivní depozice na jejichž popis se metodologicky navazuje. Dále se předkládaná práce věnuje metodám zpracování, kde je popsána teorie potřebná pro používání programu PWscf, který byl použit pro všechny potřebné kvantové výpočty. Tato kapitola také obsahuje popis přípravných výpočtů a jejich výsledky. Ve výsledkové části je pro každý simulovaný kov uvedeno, jestli tvoří raději heterogenní směs stechiometrického oxidu + kovu nebo homogenní suboxid. Dále se diskutují maximální možná pokrytí kyslíkem a na závěr změna magnetických vlastností v důsledku oxidace povrchu kovu.Item Příprava a charakterizace termochromických povlaků na bázi VO2 pomocí pulzního reaktivního magnetronového naprašování(Západočeská univerzita v Plzni, 2019) Kaufman, Michal; Vlček Jaroslav, Prof. RNDr. CSc.; Rusňák Karel, Doc. RNDr. CSc.Ústředním tématem této diplomové práce je depozice termochromických vrstev oxidu vanadičitého dopovaných hořčíkem a wolframem, které mohou být použity např. jako aktivní vrstva tzv. chytrých oken. Zvolená metoda přípravy zmíněných vrstev je založena na vysokovýkonovém pulzním magnetronovém naprašování s kontrolou průtoku reaktivního plynu, jenž umožňuje vznik plně stechiometrických vrstev i při nízké depoziční teplotě substrátu a bez na něj přivedeného vnějšího předpětí. Účelem dopování wolframem je především snížení přechodové teploty VO2, zatímco hořčík slouží primárně ke zvýšení transmitance ve viditelné oblasti a změně barvy tohoto termochromického oxidu. Dále je zde popsán princip fungování obou antireflexních vrstev tvořených ZrO2 a využívajících interferenci druhého řádu, díky které dochází ke značnému zlepšení optických vlastností výsledné multivrstvy. Spodní AR-vrstva navíc plní úlohu tzv. strukturní šablony, jež podporuje schopnost VO2 krystalizovat, čímž významně usnadňuje reprodukovatelnost celého procesu výroby termochromického povlaku. Doplňkovou funkcí vrchní AR-vrstvy je zajištění mechanické a chemické ochrany VO2, jenž následně vede k maximalizaci trvanlivosti všech jeho užitných vlastností.Item Analýza tepelných procesů při laserovém svařování plastů(Západočeská univerzita v Plzni, 2018) Benešová, Martina; Martan Jiří, Ing. Ph.D.; Haviar Stanislav, RNDr. Ph.D.Tato práce se zabývá zkoumáním tepelných procesů při laserovém svařování plastů. V práci je shrnuta teorie laserového svařování plastů a současný stav v modelování této problematiky. Je popsána tvorba simulačního modelu laserového svařování plastů v programu COSMOSM, ze kterého jsou získány rozložení teploty a časové průběhy teploty na povrchu a rozhraní vzorku. Část práce je věnována popisu výpočtů intenzity tepelného vyzařování ze vzorku v programu Matlab. Byl vytvořen výchozí model rozložení teploty ve vzorku pro dvě tloušťky horního polopropustného plastu ve svařované konfiguraci. Dále je prozkoumán vliv materiálových a procesních parametrů na časový průběh teploty na povrchu a rozhraní vzorku. V druhé části diplomové práce je porovnávána intenzita vyzařování v závislosti na čase z rozhraní a povrchu s měřením pomocí kamery FLIR SC7650 a kamery C14041-10U s citlivostí v krátkovlnné infračervené oblasti. Při měření kamerou FLIR SC7650 byly používány různé optické filtry, které jsou uvažovány i ve výpočtech v Matlabu. Při porovnávání intenzity vyzařování byly použity dva druhy propustnosti horního plastu, difuzní a přímá.Item Teoretický popis tuhých roztoků nitridů a boridů přechodových kovů(Západočeská univerzita v Plzni, 2018) Matas, Martin; Houška Jiří, Doc. Ing. Ph.D.; Kos Šimon, Doc. Mgr. Ph.D.Práce za pomoci teorie funkcionálu hustoty modeluje nitridy a diboridy přechodových kovů (Y, Ho, Hf, Ta, Mo). Jsou nalezeny optimální parametry výpočtů a optimální metodologie zpracování hrubých dat. Je identifikován postup, s jakým lze dosáhnout výsledků standardní přesnosti i pro hůře proveditelné výpočty s magnetickými kovy vzácných zemin. Po optimalizaci metodologie jsou určeny preferované krystalické struktury, formovací energie a objemové moduly pružnosti nitridů a boridů jednotlivých kovů. U nitridů s kubickou strukturou jsou určeny další základní mechanické vlastnosti (složky tenzoru pružnosti, moduly pružnosti v tahu a ve smyku, Poissonovo číslo). Pozornost je věnována tuhým roztokům nitridů uvedených prvků, prozkoumána je jejich směšovací energie (která silně závisí na rozložení atomů jednotlivých prvků), z ní plynoucí stabilita, a v případě roztoků s kubickou strukturou i výše uvedené mechanické vlastnosti. Je zjištěna například vyšší formovací energie nitridů prvků ze sloupců periodické tabulky s vyššími čísly. Tato monotónní závislost je v souladu s výsledky provedených experimentů a lze ji využít při ladění vlastností nových materiálů.Item Tenkovrstvé povlaky na bázi kovových skel Zr-Hf-Cu(Západočeská univerzita v Plzni, 2018) Hutsalo, Kseniia; Zeman Petr, Doc. Ing. Ph.D.; Rezek Jiří, Ing. Ph.D.V rámci diplomové práce byly připraveny tři série vrstev Zr-Hf-Cu, které jsou deponovány vysokovýkonovým pulzním magnetronovým nazprašováním HiPIMS v depoziční komoře. Depozice byly prováděny v atmosféře argonu. Základní tlak před každým ukládáním byl nižší než 5×10-5 Pa. První série byla s obsahem 46 at.% Cu, zatímco druhá série byla s 59 at.% Cu a třetí byla s 68 at.% Cu. Cílem bylo zhodnotit vliv poměru Hf/(Hf+Zr) na strukturu, tepelné chování, mechanické a povrchové vlastnosti vrstev.Item Vysokovýkonová pulzní reaktivní magnetronová depozice termochromických vrstev VO2 a jejich charakterizace(Západočeská univerzita v Plzni, 2018) Kubásek, Tomáš; Vlček Jaroslav, Prof. RNDr. CSc.; Rusňák Karel, Doc. RNDr. CSc.Tato práce se zabývá vlastnostmi termochromických tenkých vrstev na bázi oxidu vanadičitého (VO2) připravených metodou vysokovýkonového pulzního magnetronového naprašování (HiPIMS), resp. její modifikovanou formou s hlubokými oscilacemi (DOMS). Celkem byly vytvořeny tři vrstvy. Zkoumáno bylo jejich fázové složení, transmitance a elektrická rezistivita. Cílem práce bylo prozkoumat vliv depozičních parametrů na strukturu a vlastnosti vrstev důrazem na jejich termochromické chování.Item Monte Carlo simulace napouštění reaktivního plynu pro reaktivní magnetronové naprašování vrstev(Západočeská univerzita v Plzni, 2016) Šula, Michal; Kozák Tomáš, Ing. Ph.D.; Kozák Tomáš, Ing. Ph.D.; Kos Šimon, Doc. Mgr. Ph.D.Předkládaná diplomová práce se zabývá, v úvodu, shrnutím současného stavu technologie reaktivního magnetronového naprašování. Stručně prochází historický vývoj, moderní poznatky a problémy naprašovacího procesu. V další části práce je popsán přístup k numerické simulaci transportu reaktivního plynu uvnitř vakuové komory pomocí Monte Carlo metod. Následně je popsán návrh algoritmu numerické simulace transportu částic a příslušný užitý matematický model, při uvažování pouze kinetických interakcí reakčního plynu, a zanedbání vlivu přítomnosti plazmatu během naprašovacího procesu. Na konci práce jsou prezentovány výsledky simulací a diskuze, rozebírající vliv tlaku, velikosti průtoku a vzdálenosti výpusti napouštěcího zařízení reaktivního plynu na prostorové rozložení hustoty reaktivního plynu a rozložení dopadů na substrát a terč ve stacionárním stavu.Item Vysokovýkonová pulzní reaktivní magnetronová depozice vrstev VO2 na skle(Západočeská univerzita v Plzni, 2016) Tichý, Michal; Vlček Jaroslav, Prof. RNDr. CSc.; Vlček Jaroslav, Prof. RNDr. CSc.; Rusňák Karel, Doc. RNDr. CSc.Práce se zabývá problematikou vysokovýkonové pulzní reaktivní magnetronové depozice (HiPIMS) vrstev oxidu vanadičitého VO2 na skleněných substrátech. Cílem je vytvořit termochromické tenké vrstvy VO2 pomocí řízeného procesu HiPIMS depozice a vyšetřit vliv depozičních parametrů na výbojové charakteristiky a materiálové vlastnosti připravených vrstev. Vrstvy byly připraveny v atmosféře argonu a kyslíku, parciální tlak argonu par = 1 Pa, průtok argonu komorou byl 60 sccm. Hodnota parciálního tlaku pox sloužila jako kritická hodnota pro řídicí systém pulzního napouštění reaktivního plynu (O2). Naprašování probíhalo z vanadového terče (99,999 %) o průměru 50 mm na skleněný substrát umístěný na otočném držáku ve vzdálenosti 150 mm od terče. Substrát byl ohříván na depoziční teploty Ts = 250-400 °C. Reaktivní plyn byl přiváděn korundovou trubičkou do vzdálenosti 20 mm od terče a ústí trubiček směřovalo směrem k substrátu. Terč byl zatěžován průměrnou výkonovou hustotou při depozici = 11-13 Wcm-2. Napětí na terči bylo Ud = 570-595 V, délka napěťového pulzu ton = 50 a 80 mikrosekund, opakovací frekvence pulzů f = 200 a 125 Hz, střída konstantně ton/T = 1 %. Fázové složení vrstev bylo určeno pomocí XRD analýzy. Pomocí spektroskopické elipsometrie byla určena tloušťka vrstev a spektrální závislosti optických konstant jako index lomu n a extinkční koeficient k. Měřením spektrální závislosti transmitance vrstev bylo určeno jejich termochromické chování a hodnoty integrální transmitance ve viditelném spektru Tlum, integrální transmitance reálného dopadajícího záření Tsol a modulace dopadajícího záření. Pomocí spektrofotometru bylo dále určeno hysterezní chování transmitance T2500 v infračervené oblasti při ohřevu a chlazení vrstev. Hysterezní chování bylo obdobně určeno i z rezistivity vrstev změřené pomocí čtyřbodové metody. Hodnoty přechodové teploty Ttr byly určeny dvěma metodami z tvaru zmíněných hysterezních křivek.Item Magnetronově naprašovaná tenkovrstvá kovová skla a jejich charakterizace(Západočeská univerzita v Plzni, 2016) Kotrlová, Michaela; Zeman Petr, Doc. Ing. Ph.D.; Zeman Petr, Doc. Ing. Ph.D.; Pajdarová Andrea Dagmar, Mgr. Ph.D.V rámci této diplomové práce byla připravena tenkovrstvá kovová skla Zr-Cu kombinací metod vysokovýkonového pulzního magnetronového naprašování a DC magnetronového naprašování v Ar. Byl zkoumán vliv obsahu Cu ve vrstvách (0-100 at. % Cu), použitého napětí na substrátu (Us=Ufl, -30 V, -50 V, -70 V) a délky pulzu (100, 150 a 200 mikrosekund) na prvkové složení, strukturu, tepelné, mechanicke a povrchové vlastnosti a elektrickou rezistivitu vrstev Zr-Cu. Bylo zjištěno, že vrstvy Zr-Cu v rozsahu 30-83 at. % Cu vykazovaly amorfní strukturu. O tenkovrstvá kovová skla se jednalo v rozsahu složení 30-65 at. % Cu, přičemž velikost oblasti přechlazené kapaliny byla ~42°C. Dále bylo zjištěno, že u tenkovrstvého kovového skla Zr-Cu připraveného s hodnotou předpětí na substrátu Us=-50 V nebyly patrné smykové deformační pásy, což nasvědčuje zlepšenému plastickému chování vrstvy. V poslední řadě bylo zjištěno, že zkracováním délky pulzu dochází k nárůstu počtu defektů vytvořených ve vrstvách během depozice.