Modelování růstu kovových nanočástic v agregační komoře magnetronového nanočásticového zdroje

Abstract

Tato práce se zabývá růstem nanočástic v magnetronovém zdroji nanočástic a modelování procesů probíhajících ve zdroji. Cílem této práce bylo nastudovat fyzikální procesy tvorby nanočástic v plynné fázi, které nastávají ve zdroji nanočástic a na základě toho vytvořit počítačový model. Model je založený na kinetické Monte Carlo metodě. Čistá kinetická Monte Carlo by pro tuto simulaci byla nedostatečná, proto upravujeme algoritmus pomocí tzv. prahové metody (v originále Threshold method). V práci je popsána implementace tohoto modelu se všemi nutnými základními procesy pro vznik, růst a pohyb nanočástic v komoře. Hlavním výsledkem simulace je rozdělení velikostí nanočástic na výstupu ze zdroje nanočástic. V poslední části byla provedena diskuze výsledků simulace pro tři různé režimy a pro vypnutí některých procesů v simulaci. Výsledky byly porovnány s experimentálními výsledky. Pro některé parametry simulace model odhaduje trendy experimentálních výsledků přesně, pro jiné je daný model nedostatečný a je provedena diskuze, které limitace modelu je vhodné vylepšit.