Pulzní reaktivní magnetronové naprašování termochromických povlaků na bázi VO2
Date issued
2020
Authors
Journal Title
Journal ISSN
Volume Title
Publisher
Západočeská univerzita v Plzni
Abstract
Tato práce je zaměřena na reaktivní depozici V1-xWxO2 termochromických povlaků pomocí vysokovýkonového pulzního magnetronového naprašování. Jsou uvedeny průmyslové nároky na termochromické povlaky a jejich možné dosažení využitím dopování dalších prvků a antireflexní vrstvy. Mezi často dopované prvky patří wolfram, který efektivně snižuje přechodovou teplotu. Antireflexní vrstvy slouží zejména k vylepšení optických vlastností. Popsána je také depoziční aparatura a analytické metody, jako jsou rentgenová difrakce, elipsometrie, spektrofotometrie a vlnově disperzní spektroskopie. V experimentální části byly připraveny vzorky ZrO2/V1-xWxO2/ZrO2. Je ukázán průběh transmitance a porovnání vlivu depozičních parametrů na technologickou náročnost procesu
Description
Subject(s)
oxid vanadičitý, termochromické povlaky, antireflexní vrstvy, dopování wolframem, chytrá okna