Vysokovýkonová pulzní reaktivní magnetronová depozice termochromických vrstev VO2 a jejich charakterizace
Date issued
2018
Authors
Journal Title
Journal ISSN
Volume Title
Publisher
Západočeská univerzita v Plzni
Abstract
Tato práce se zabývá vlastnostmi termochromických tenkých vrstev na bázi oxidu vanadičitého (VO2) připravených metodou vysokovýkonového pulzního magnetronového naprašování (HiPIMS), resp. její modifikovanou formou s hlubokými oscilacemi (DOMS). Celkem byly vytvořeny tři vrstvy. Zkoumáno bylo jejich fázové složení, transmitance a elektrická rezistivita. Cílem práce bylo prozkoumat vliv depozičních parametrů na strukturu a vlastnosti vrstev důrazem na jejich termochromické chování.
Description
Subject(s)
oxid vanadičitý, termochromické vlastnosti, magnetronové naprašování, hipims, doms