Vysokovýkonová pulzní reaktivní magnetronová depozice termochromických vrstev VO2 a jejich charakterizace

Date issued

2018

Journal Title

Journal ISSN

Volume Title

Publisher

Západočeská univerzita v Plzni

Abstract

Tato práce se zabývá vlastnostmi termochromických tenkých vrstev na bázi oxidu vanadičitého (VO2) připravených metodou vysokovýkonového pulzního magnetronového naprašování (HiPIMS), resp. její modifikovanou formou s hlubokými oscilacemi (DOMS). Celkem byly vytvořeny tři vrstvy. Zkoumáno bylo jejich fázové složení, transmitance a elektrická rezistivita. Cílem práce bylo prozkoumat vliv depozičních parametrů na strukturu a vlastnosti vrstev důrazem na jejich termochromické chování.

Description

Subject(s)

oxid vanadičitý, termochromické vlastnosti, magnetronové naprašování, hipims, doms

Citation

Collections

OPEN License Selector