Tenkovrstvé povlaky na bázi kovových skel Zr-Hf-Cu

Abstract

V rámci diplomové práce byly připraveny tři série vrstev Zr-Hf-Cu, které jsou deponovány vysokovýkonovým pulzním magnetronovým nazprašováním HiPIMS v depoziční komoře. Depozice byly prováděny v atmosféře argonu. Základní tlak před každým ukládáním byl nižší než 5×10-5 Pa. První série byla s obsahem 46 at.% Cu, zatímco druhá série byla s 59 at.% Cu a třetí byla s 68 at.% Cu. Cílem bylo zhodnotit vliv poměru Hf/(Hf+Zr) na strukturu, tepelné chování, mechanické a povrchové vlastnosti vrstev.