Příprava a charakterizace termochromických povlaků na bázi VO2 pomocí pulzního reaktivního magnetronového naprašování
Date issued
2019
Authors
Journal Title
Journal ISSN
Volume Title
Publisher
Západočeská univerzita v Plzni
Abstract
Ústředním tématem této diplomové práce je depozice termochromických vrstev oxidu vanadičitého dopovaných hořčíkem a wolframem, které mohou být použity např. jako aktivní vrstva tzv. chytrých oken. Zvolená metoda přípravy zmíněných vrstev je založena na vysokovýkonovém pulzním magnetronovém naprašování s kontrolou průtoku reaktivního plynu, jenž umožňuje vznik plně stechiometrických vrstev i při nízké depoziční teplotě substrátu a bez na něj přivedeného vnějšího předpětí. Účelem dopování wolframem je především snížení přechodové teploty VO2, zatímco hořčík slouží primárně ke zvýšení transmitance ve viditelné oblasti a změně barvy tohoto termochromického oxidu. Dále je zde popsán princip fungování obou antireflexních vrstev tvořených ZrO2 a využívajících interferenci druhého řádu, díky které dochází ke značnému zlepšení optických vlastností výsledné multivrstvy. Spodní AR-vrstva navíc plní úlohu tzv. strukturní šablony, jež podporuje schopnost VO2 krystalizovat, čímž významně usnadňuje reprodukovatelnost celého procesu výroby termochromického povlaku. Doplňkovou funkcí vrchní AR-vrstvy je zajištění mechanické a chemické ochrany VO2, jenž následně vede k maximalizaci trvanlivosti všech jeho užitných vlastností.
Description
Subject(s)
termochromický vo2, reaktivní hipims, chytrá okna, antireflexní vrstvy, dopování hořčíkem a wolframem