Bachelor´s works (KFY)

Permanent URI for this collection

http://hdl.handle.net/11025/105

Browse

Showing 1 - 20 out of 41 results

Charakterizace termochromických povlaků na bázi VO\dindex{2}
(Západočeská univerzita v Plzni, 2024-07-11) Boura, Kryštof; Vlček Jaroslav, prof. RNDr. CSc.; Rezek Jiří, Ing. Ph.D.
Tato bakalářská práce se zabývá charakterizací termochromických povlaků na bázi dopovaného VO2 s možností budoucího použití v oblasti energeticky úsporných chytrých oken. Je popsán termochromický přechod VO2 z hlediska krystalové a elektronové struktury. Jsou představeny princip termochromických chytrých oken, veličiny sloužící k popisu jejich vlastností a kritéria, jež musí splňovat materiály určené pro výrobu jejich aktivních vrstev. Jsou zmíněna některá úskalí přípravy tenkých vrstev na bázi VO2 a stručně je popsán princip jejich depozice metodou řízeného reaktivního vysokovýkonového pulzního magnetronového naprašování. Jsou uvedeny metody měření spektrální transmitance, reflektance a absorpce, přechodové teploty a šířky dvou zakázaných pásů termochromického materiálu. Ve výsledcích je diskutován vliv příměsi stroncia na elektronovou strukturu a termochromické chování trojvrstvých povlaků s aktivní vrstvou VO2 dopovaného wolframem a stronciem.
Charakterizace tenkovrstvých materiálů pomocí rentgenové fotoelektronové spektroskopie
(Západočeská univerzita v Plzni, 2024-07-12) Benediktová, Eliška; Procházka Michal, Ing. Ph.D.; Haviar Stanislav, RNDr. Ph.D.
Tato bakalářská práce se zabývá analýzou prvkového složení a chemických stavů tenkých vrstev nanočástic metodou rentgenové fotoelektronové spektroskopie. Protože je chemická analýza jedním z klíčových aspektů vývoje nových materiálů, studuje tato práce vliv teploty žíhání na chemické stavy vzorků nanočástic oxidů mědi a wolframu vyvíjených pro detekci vodíku. Celkem jsou zkoumány tři sady vzorků - vrstva nanočástic CuOx, vrstva nanočástic WOx a kompozitní vrstva nanočástic CuOx/WOx. Vzorky byly po depozici žíhány na vzduchu za účelem změny mikrostruktury, která by mohla mít vliv na jejich senzorické vlastnosti. V práci je nejprve nastíněn stav současné problematiky v oblasti tenkých vrstev, nanomateriálů na bázi oxidů mědi a wolframu a detekce plynů. Dále jsou popsány teoretické základy použitých experimentálních metod a jsou uvedeny podmínky, za kterých depozice a analýza probíhaly. Nakonec jsou porovnány výsledky jednotlivých analýz a je uvedena jejich možná interpretace.
Andersonův model příměsi v přiblížení FLEX
(Západočeská univerzita v Plzni, 2024-07-12) Gebel, Jan; Kos Šimon, doc. Mgr. Ph.D.; Houška Jiří, prof. Ing. Ph.D.
Tato bakalářská práce se zaměřuje na Andersonův model příměsi v přiblížení FLEX (Fluctuation Exchange). Studium začíná úvodem do Andersonova modelu příměsi, který popisuje magnetické příměsi v kovech, a zkoumá jeho výsledky pomocí aproximace středního pole. Následně je představeno přiblížení FLEX jako sofistikovanější přístup, který zohledňuje fluktuace nad rámec teorie středního pole. Práce zahrnuje odvození klíčových rovnic v rámci přiblížení FLEX, jejich analytické řešení pro zjednodušené případy a použití numerických metod pro obecnější situace. Cílem je poskytnout ucelený přehled o Andersonově modelu příměsi a účinnosti přiblížení FLEX při zachycení podstatné fyziky systémů s korelovanými elektrony.
Analýza nanomateriálů pro aplikaci do PEM elektrolyzérů pomocí elektrochemické impedanční spektroskopie
(Západočeská univerzita v Plzni, 2024-07-12) Beneš, Marek; Kolenatý David, Ing. Ph.D.; Kos Šimon, doc. Mgr. Ph.D.
Vědecká komunita se v poslední době stále více zaměřuje na zdokonalování obnovitelných zdrojů a na možnosti uskladnění energie. Jednou oblastí jsou vodíkové elektrolyzéry typu PEM, jejichž části bohužel podléhají korozi a musejí se povlakovat tenkými vrstvami. Tato práce představuje jednu z metod, kterými lze měřit různé parametry těchto ochranných vrstev. Elektrochemická impedanční spektroskopie dokáže analyzovat chemické, fyzikální a materiálové vlastnosti. V této práci se objevují teoretické základy o vztahu impedance k těmto vlastnostem. Následně jsou tyto poznatky použity k analýze tenké vrstvy titanu a k interpretaci použitého modelu.
Analýza nanomateriálů pro aplikaci do PEM elektrolyzérů pomocí potenciostatické a potenciodynamické elektrochemické metody
(Západočeská univerzita v Plzni, 2024-07-12) Štrunc, Samuel; Kolenatý David, Ing. Ph.D.; Soukup Zbyněk, Ing. Ph.D.
Výroba vodíku hraje důležitější roli než kdy dříve. Širší průmyslová implementace elektrolyzérů může do budoucna pomoci jak s energetickou, tak i klimatickou krizí. Jejich rozšíření je však podmíněno účinností, životností a zejména výrobní cenou. Tato práce se zabývá přípravou a následnou analýzou tenkých vrstev TiNbO pro aplikaci v PEM elektrolyzérech. Tyto vrstvy se jeví jako potenciální alternativa k aktuálně využívaným drahým kovům. Příprava a analýza 20 vzorků proběhla s využitím moderních metod a technologií, jako je například HiPIMS nebo WDS. Subjekty byly testovány na korozní odolnost pomocí potenciostatické a potenciodynamické metody. Měření kontaktního elektrického odporu zúžilo rozsah dalšího zkoumání na 5 vzorků. Výsledná data byla následně graficky zpracována tak, aby bylo možné porovnat vliv atomárního složení na korozní odolnost a vodivost vrstvy. Na závěr proběhla diskuze získaných fyzikálních závislostí a interpretace výsledků.
Vyšetřování optických a strukturních vlastností tenkých vrstev Cu\dindex{2}O dopovaných dusíkem
(Západočeská univerzita v Plzni, 2024) Polák, Michal; Rezek Jiří, Ing. Ph.D.; Rusňák Karel, Doc. RNDr. CSc.
Tato bakalářská práce se zabývá zkoumáním optických a strukturních vlastností transparentních vodivých oxidů (TCO; transparent conductive oxides), specificky oxidů mědi dopovaných dusíkem. Jsou vysvětleny základy problematiky TCO a metody měření vlastností těchto materiálů, konkrétně elipsometrie a Ramanova spektroskopie. Tyto metody jsou použity na změření vlastností vzorků tenkých vrstev Cu\dindex{2}O dopovaných dusíkem, vyrobených reaktivním magnetronovým naprašováním při rozdílných vstupních podmínkách (teplota výroby, průtok reaktivního plynu). Pro práci jsou důležité primárně hodnoty indexu lomu vrstev, extinkčního koeficientu, šířky zakázaného pásu, a polohy píků Ramanova spektra vzorků, to vše v závislosti na energii světla interagujícího s tenkou vrstvou. Různé podmínky výroby materiálu mohou měnit vnitřní strukturu vrstvy a tím průběh výsledných závislostí zkoumaných parametrů. Jsou porovnávány zjištěné hodnoty všech veličin a změny vlastností v závislosti na výrobních podmínkách, mezi sebou i s dalšími pracemi publikovanými o podobných materiálech.
Charakterizace elektrických vlastností tenkovrstvých polovodičů na bázi Cu-O and Cu-O-N
(Západočeská univerzita v Plzni, 2024) Lucák, Lukáš; Kozák Tomáš, Doc. Ing. Ph.D.; Čerstvý Radomír, Ing. Ph.D.
Tato bakalářská práce se zaměřuje na zkoumání elektrických vlastností tenkých vrstev oxidu mědi, které byly dopovány dusíkem (Cu-O, Cu-O-N), ve dvou sériích vzorků s různými depozičními podmínkami. Byla změřena rezistivita, koncentrace nosičů náboje a jejich pohyblivost na čtvercových vzorcích pomocí Van der Pauwovy metody. Pro vybrané vzorky byla navíc změřena teplotní závislost těchto veličin v rozmezí teplot od 200 K do 580 K. Pomocí fitování teplotní závislosti koncentrace nosičů náboje byla na základě modelu příměsového polovodiče typu P určena koncentrace akceptorových hladin a jejich aktivační energie. Práce ukázala, že dopování dusíkem zvyšuje koncentraci nosičů náboje a snižuje jejich pohyblivost. S rostoucí koncentrací dusíku v materiálu také klesala rezistivita vrstev.
Studium chování tenkovrstvých kovových skel W-Zr za zvýšených teplot
(Západočeská univerzita v Plzni, 2023) Baštářová, Barbora; Zuzjaková Šárka, Ing. Ph.D.; Kos Šimon, Doc. Mgr. Ph.D.
V rámci bakalářské práce byl zkoumán vliv teploty ohřevu ve vzduchu na strukturu a vlastnosti vrstev W-Zr. Zkoumány byly tři vrstvy W-Zr s rozdílným obsahem Zr (32 at.% Zr, 48 at.% Zr a 61 at.% Zr). Tyto vrstvy byly připraveny pomocí nereaktivního stejnosměrného magnetronového naprašování v argonové atmosféře. Vyšetřována byla struktura, prvkové složení, mechanické vlastnosti, elektrická rezistivita a extinkční koeficient vrstev před a po ohřevu v syntetickém vzduchu na různé teploty až do teploty 600 °C. Vyšetřována byla také změna hmotnosti těchto vrstev během ohřevu v syntentickém vzduchu až do teploty 600 °C pomocí termogravimetrie. Bylo zjištěno, že vrstvy lze zařadit mezi amorfní kovová skla a amorfní struktura zůstává zachována i po ohřevu na teplotu 600 °C. Během ohřevu se do vrstev zabudovává kyslík, což má výrazný vliv na vlastnosti vrstev. Tvrdost, efektivní Youngův modul a elastická vratnost se zvyšují, naopak elektrická rezistivita a extinkční koeficient se snižují.
Studium elektrických a elektrochemických vlastností tenkovrstvých materiálů pro rozklad vody
(Západočeská univerzita v Plzni, 2022) Vosejpka, Jan; Čapek Jiří, Doc. Ing. Ph.D.; Pajdarová Andrea Dagmar, Mgr. Ph.D.
Tato bakalářská práce se zabývá fotoelektrochemickým rozkladem vody a produkcí vodíku. Nejprve rozebírá fotokatalytický rozklad látek se zaměřením na vodu, včetně podmínek pro průběh chemických reakcí. Následně se zevrubně věnuje fotoelektrochemickému rozkladu vody jako kompromisu mezi fotokatalytickým a elektrolytickým procesem. Popsány jsou funkce potenciostatu včetně úloh pracovní a protielektrody a referenční elektrody, která má důležitou úlohu nejen při měření, ale i při diskuzi výsledků. Dále jsou uvedeny procesy ve fotoelektrochemické komoře při štěpení vody a nároky, které jsou kladeny na pracovní polovodičovou elektrodu, která je fotoaktivní a generuje volné nosiče náboje schopné redoxních dějů. Následuje metodika fotoelektrochemických experimentů a jejich vyhodnocení včetně výpočtů účinností. Získané teoretické poznatky jsou následně aplikovány při zkoumání fotoelektrochemických vlastností tenké vrstvy Cu-W-O, která byla připravena reaktivní magnetronovou depozicí. Elipsometrickým měřením byla určena šířka zakázaného pásu, extinkční koeficient a absorpce vrstvy. Základní fotoelektrochemické vlastnosti vrstvy jako je polarita polovodiče, míra rekombinace a fotoaktivní zóna s malými temnostními proudy byly měřeny při osvitu intenzivní ultrafialovou lampou ( = 370 nm, P = 3,9 mW/2). Pokročilejší spektroskopická měření proběhla s využitím světelného zdroje J. A. Woollam HS-190. Změřeny byly fotoproudy pro vybrané vlnové délky a spočtena vnější kvantová efektivita (IPCE). Předpokládaný spočtený fotoproud při osvitu normovaným slunečním světlem AM1,5 je 1,38 A/m2. Fotoelektrochemické vlastnosti Cu-W-O jsou v této práci porovnávány s vlastnostmi tenké vrstvy materiálu WO3.
Diagnostika magnetronového výboje pomocí cavity ring-down spektroskopie
(Západočeská univerzita v Plzni, 2021) Němcová, Veronika; Pajdarová Andrea Dagmar, Mgr. Ph.D.; Kozák Tomáš, Ing. Ph.D.
Bakalářská práce se zabývá stanovením koncentrace stavů částic, kterými jsou atomy a ionty titanu a následným určením závislosti vývoje těchto koncentrací na výkonu výboje pomocí aplikace metody cavity ring-down spektroskopie (CRDS). V teoretické části práce je nejprve pojednáno o aktuálním stavu problematiky v oblasti magnetronového naprašování, průmyslových laserů a jejich využití v rámci CRDS. Krátce jsou zmíněny příklady dalších metod pro měření koncentrace stavů atomů a molekul. V rámci praktické části práce bylo provedeno měření hustoty koncentrace stavů titanových atomů a iontů příslušných multipletům obsahujících základní stav systémem CRDS v magnetronovém výboji pro naprašování vrstev. Jako zdroj záření byl v systému použit laditelný barvivový laser. Data získaná z realizovaných měření byla zpracována, vyhodnocena a byl proveden výpočet koncentrace stavů částic s následným grafickým stanovením závislosti této koncentrace na výkonu výboje. Výsledky této práce budou využívány v dalším výzkumu v oblasti magnetronového naprašování.
Nalezení optimální konfigurace vzorku pro přesné měření elektrických vlastností tenkovrstvých materiálů na bázi směsi oxidových nanočástic
(Západočeská univerzita v Plzni, 2021) Kučera, Petr; Čapek Jiří, Doc. Ing. Ph.D.; Haviar Stanislav, RNDr. Ph.D.
Tato bakalářská práce se zabývá problematikou nalezení optimální konfigurace vzorku pro přesné měření elektrických vlastností tenkovrstvých materiálů na bázi směsi oxidových nanočástic. Dosud se na katedře fyziky Fakulty aplikovaných věd Západočeské univerzity v Plzni úspěšně měřily elektrické vlastnosti senzorických tenkovrstvých oxidových materiálů klasickou čtyřbodovou metodou. S příchodem nanočásticové struktury ovšem přichází problém měření takto strukturovaných vrstev z důvodu propíchnutí a možného otření nanočástic hrotem měřící sondy. Předložená práce je tedy věnována experimentálnímu ověření vlivu konfigurace vzorku (materiál substrátu, způsob zpracování substrátu, materiál a pozice kontaktů) na měření elektrických vlastností. Jednotlivé konfigurace vzorků jsou vyšetřovány za použití souvislé vrstvy CuOx (tj. vrstvy bez nanočástic). Na základě získaných dat je vybrána optimální konfigurace vzorku pro budoucí přesné měření elektrických vlastností tenkovrstvých materiálů na bázi nanočástic pomocí čtyřbodové metody se speciálně navrženou sondou se čtvercovou konfigurací hrotů. Pro zkoumání homogenity připravených tenkovrstvých materiálů bylo využito elipsometrie. K měření jejich elektrických vlastností byla použita čtyřbodová a van der Pauwova metoda.
Charakterizace vlastností magnetronově naprašovaných vrstev na bázi kovových skel
(Západočeská univerzita v Plzni, 2021) Hodan, Ondřej; Zeman Petr, Prof. Ing. Ph.D.; Soukup Zbyněk, Ing. Ph.D.
Tato bakalářská práce je zaměřena na zkoumání mechanických vlastností magnetronově naprašovaných vrstev na bázi kovových skel pomocí analytických metod nanoindentace. Byly připraveny čtyři vzorky na bázi Zr-Cu-N s různým obsahem dusíku a mědi, jejichž složení a struktura byly charakterizovány pomocí energiově disperzní spektroskopie a rentgenové difrakce. Vzorky byly zatíženy na nanoindentoru a ze získaných dat byly různými analytickými metodami extrahovány mechanické materiálové konstanty. Vzniklé vpichy byly rovněž nasnímány pomocí mikroskopu atomárních sil a skenovacího elektronového mikroskopu. Získané výsledky jsou diskutovány a porovnány. Jednotlivé metody pak jsou ohodnoceny vzhledem ke svým přednostem nebo svým limitům.
Vliv geometrie vzorku na přesnost měření elektrických vlastností tenkovrstvých transparentních vodivých oxidů
(Západočeská univerzita v Plzni, 2021) Koloros, Jan; Kozák Tomáš, Ing. Ph.D.; Rusňák Karel, Doc. RNDr. CSc.
Tato bakalářská práce je zaměřena na zkoumání vlivu geometrie vzorku na naměřené hodnoty rezistivity a koncentrace nosičů náboje u tenkých vrstev transparentních vodivých oxidů. Rozdílné geometrie jsou zkoumány na dvou transparentních vodivých oxidech (oxid zinečnatý dopovaný hliníkem, AZO), jenž byly připravovány za různých podmínek depozice. K měření jejich elektrických vlastností byly použity van der Pauwova metoda a čtyřbodová metoda. Čtvercové vzorky byly upraveny pomocí diamantové tužky s cílem připravit geometrii nazývanou řecký kříž a disk. Měřením jsme zjistili, že nejlepší preciznosti hodnot koncentrace nosičů náboje námi měřených geometrií dosahuje u van der Pauwovy metody ideální čtvercový rozměr 8,5 x 8,5 mm, který má velkou délku vrypu, ale vryp ještě nenarušuje strukturu transparentní vodivé vrstvy ve středu vzorku. Z výsledků při měřeni van der Pauwovy metody také vidíme, že se zvětšující se délkou vrypu se zvětšuje naměřená hodnota pro rezistivitu. Hodnoty rezistivity získané oběma metodami se shodují.
HiPIMS depozice vrstev CrN
(Západočeská univerzita v Plzni, 2020) Hendrych, Ondřej; Čapek Jiří, Doc. Ing. Ph.D.; Čerstvý Radomír, Ing. Ph.D.
Tato práce se zabývá vrstvami CrN vytvořenými vysokovýkonovým pulzním reaktivním magnetronovým naprašováním (HiPIMS). Důraz je kladen na vliv záporného předpětí na substrátu na jejich růst a vlastnosti. Jedna vrstva byla připravena bez předpětí a šest vrstev s předpětím v rozmezí od -30 V do -400 V. Ukázalo se, že se vzrůstajícím záporným předpětím na substrátu klesá depoziční rychlost z maximálních 52 nm/min bez předpětí až na 26 nm/min při předpětí -400 V. Tvrdost deponované tenké vrstvy dosáhne nejvyšší hodnoty při -30 V (25.8 GPa). Bohužel záporná předpětí způsobují v deponovaných vrstvách kompresní pnutí, které je při -30 V 2.5 GPa. Takto vysoké pnutí způsobuje v této vrstvě problémy s adhezí. Při předpětí -90 V dosahuje tvrdost 22.6 GPa a pnutí 2.8 GPa, což je nejvyšší zjištěné pnutí. Pro vyšší záporná předpětí klesá jak tvrdost, tak pnutí až na minimální hodnoty při -400 V, kdy je tvrdost 17.7 GPa a pnutí 1.7 GPa. Je důležité podotknout, že pnutí je podstatně větší při naprašování s předpětím, než při naprašování bez předpětí.
Předpověď struktury vrstev ZnO vytvářených atom po atomu pomocí klasické molekulární dynamiky
(Západočeská univerzita v Plzni, 2019) Hantová, Kamila; Houška Jiří, Doc. Ing. Ph.D.; Kos Šimon, Doc. Mgr. Ph.D.
Tato práce se věnuje modelování tenké vrstvy ZnO pomocí klasické molekulární dynamiky. Interakce mezi atomy je popsána pomocí metody empirického potenci- álu. Simulace probíhala za využití software LAMMPS. Na krystalický nebo amorfní substrát ZnO přilétaly jednotlivé atomy zinku a kyslíku. Byly sledovány vlastnosti vzniklých tenkých vrstev v závislosti na energii přilétajících atomů. Ukázalo se, že tento parametr má vliv především na homogenitu vzniklé vrstvy. Při vyšších energiích roste homogenita vrstvy, ale také roste počet defektů způsobených prora- žením rychlých atomů do vrstvy a substrátu. Struktura a růst tenkých vrstev se liší i v závislosti na typu substrátu.
Počítačové modelování pulzního vysokovýkonového magnetronového výboje pro depozici vrstev
(Západočeská univerzita v Plzni, 2019) Teřl, Vít; Pajdarová Andrea Dagmar, Mgr. Ph.D.; Kozák Tomáš, Ing. Ph.D.
Předložená bakalářská práce se zaměřuje na studium ionizace atomů sekundárními elektrony v objemu plazmatu pulzního vysokovýkonového magnetronového výboje pro depozici vrstev. Na tento úkol byl vytvořen počítačový model. V první části je stručně popsán princip a vývoj pulzního vysokovýkonového magnetronového naprašování a způsoby počítačového modelování plazmatu. Ve druhé části je vytvořen počítačový program implementující metodu Leapfrog a Borisovu metodu na výpočet pohybu elektronů ve výboji a Monte Carlo kolizní metodu na výpočet ionizačních srážek. Pomocí tohoto modelu jsou provedeny simulace na sledování objemové hustoty ionizace atomů pracovního plynu a rozprášeného kovu sekundárními elektrony pro různé výbojové proudy. Výsledné objemové hustoty ionizace atomů dané simulacemi jsou řádně prodiskutovány.
Vysokovýkonová pulzní reaktivní magnetronová depozice termochromických vrstev na bázi VO2
(Západočeská univerzita v Plzni, 2018) Čurda, Pavel; Vlček Jaroslav, Prof. RNDr. CSc.; Čapek Jiří, Ing. Ph.D.
Tato práce je zaměřena na reaktivní depozici V1-xWxO2 vrstev pomocí vysokovýkonového pulzního magnetronového zdroje a jejich termochromické vlastnosti. Jsou popsány nedostatky současných VO2 vrstev a jejich možné budoucí řešení. Mezi ty patří využití antireflexní vrstvy ke zlepšení optických vlastností a využití dopování wolframu do VO2 struktury ke snížení přechodové teploty. Rozebrána je také depoziční aparatura a analytické metody, jako jsou rentgenová difrakce a spektrofotometrie. Pomocí rentgenové difrakce bylo rozebráno fázové složení V1-xWxO2 vrstev. Je ukázán vliv tloušťky V1-xWxO2 a antireflexní vrstvy na optické vlastnosti V1-xWxO2 měřené pomocí spektrofotometrie.
Studium vlastností tenkých vrstev na bázi multiprvkových kovových skel
(Západočeská univerzita v Plzni, 2018) Dvořák, Tomáš; Zeman Petr, Doc. Ing. Ph.D.; Soukup Zbyněk, Ing. Ph.D.
Předkládaná bakalářská práce je zaměřena na studium vlastností tenkých vrstev na bázi multiprvkových kovových skel. V rámci práce byl zkoumán vliv dopování Al a Si ve dvou sériích vrstev ZrHfAl/SiCu na fázové složení, tepelné, mechanické a povrchové vlastnosti a na elektrickou rezistivitu. Bylo zjištěno, že všechny zkoumané vrstvy mají amorfní strukturu. Skelný přechod byl pozorován u vrstev s obsahem Al od 0 do 12 at.% a u vrstev s obsahem Si od 0 do 6 at.%. S rostoucím obsahem dopovaných prvků se u obou sérií zvyšuje teplotní stabilita. Pokud vrstvy obsahují dopovaný prvek, mají širší oblast přechlazené kapaliny než samotné vrstvy ZrHfCu. Nejširší oblast přechlazené kapaliny byla zjištěna pro vrstvu s 8 at.% Al a má rozsah 63°C. Zvyšování obsahu Al nebo Si zvyšuje tvrdost, velikost efektivního Youngova modulu pružnosti a elastické vratnosti.
Předpověď struktur multiprvkových kovových vrstev vytvářených atom po atomu pomocí klasické molekulární dynamiky
(Západočeská univerzita v Plzni, 2018) Macháňová, Pavla; Houška Jiří, Doc. Ing. Ph.D.; Slavík Jan, Doc. RNDr. CSc.
Tato práce se věnuje modelování tenké vrstvy CuZr pomocí klasické molekulární dynamiky. Interakce mezi atomy byly popsány metodou empirického potenciálu. Simulace probíhaly s využitím programu LAMMPS. Na krystalický měděný substrát přilétaly jednotlivé atomy Cu a Zr. Sledovala jsem závislost struktury tenké vrstvy na parametrech jejího vytváření. Zkoumané parametry byly energie přilétajících atomů a podíl Cu a Zr mezi přilétajícími atomy. Ukázalo se, že energie má vliv především na homogenitu. Pro vyšší energii přilétajících atomů byla vzniklá tenká vrstva homogenější, což se projevilo i na hodnotě koordinačních čísel Cu a Zr a na podílu jednotlivých vazeb (Cu-Cu, Cu-Zr, Zr-Zr). Podíl Cu a Zr mezi přilétajícími atomy měl vliv především na strukturu. Na základě simulací jsem stanovila, že vrstva CuZr má amorfní strukturu pro podíl Cu mezi přilétajícími atomy 20 - 90 %. Pro podíl 10 % Cu (tj. 90 % Zr) je vrstva krystalická. Tento závěr je v souladu s již dříve provedeným experimentem.
Simulace transportu rozprášených atomů v magnetronových výbojích
(Západočeská univerzita v Plzni, 2018) Bělohoubek, Marek; Kozák Tomáš, Ing. Ph.D.; Pajdarová Andrea Dagmar, Mgr. Ph.D.
Tato práce se zabývá simulací transportu neutrálních částic v magnetronových výbojích za nízkých tlaků. Zkoumá procesy v prostoru zadané geometrie a popisuje chování pracovního plynu během rozprašování kovového terče. V práci je shrnuta teorie magnetronového naprašování a numerické metody Direct Simulation Monte Carlo a popsán princip a možnosti použitého programu, který implementuje tuto metodu. Jsou provedeny simulace rozprašování titanu v argonové atmosféře při konstantním i pulzním výbojovém proudu. Je vypočítán celkový tok atomů terčového materiálu na substrát a rozdělovací funkce jejich energie. Diskutován je vliv fyzikálních veličin tlaku pracovního plynu a výbojového proudu a citlivost výsledků na vybraných parametrech numerického modelu.

Browse

Recent Submissions