Bachelor´s works (KFY)

Permanent URI for this collection

http://hdl.handle.net/11025/105

Browse

Showing 1 - 20 out of 47 results

Vlastnosti termochromických vrstev VO₂ dopovaných wolframem
(Západočeská univerzita v Plzni, 2025-05-26) Šimková, Eva; Vlček Jaroslav, prof. RNDr. CSc.; Houška Jiří, prof. Ing. Ph.D.
Tato bakalářská práce se zaměřuje na zkoumání změn charakteristik termochromických vrstev VO2 dopovaných wolframem vlivem použití odlišných substrátů. Nejprve jsou představeny základní vlastnosti materiálu VO2, přičemž je mimo jiné zmíněna podstata krystalové a elektronové struktury, jež souvisí s fázovou transformací. Tato transformace je charakterizována několika veličinami, na jejichž základě lze sestavit i model fázového přechodu. Fázový přechod zásadně ovlivňuje optické vlastnosti, o nichž je rovněž řeč. Dále jsou shrnuty různé metody depozic tenkých vrstev na bázi VO2 a je uvedena také široká škála aplikací, kde lze termochromické vrstvy využít. Experimentální část se věnuje podrobněji depoziční metodě magnetronového naprašování s hlubokou oscilací (DOMS) a měření optických vlastností vrstev, z nichž je možné určit přechodovou teplotu a šířku zakázaných pásů. Ve výsledkové části je analyzován vliv substrátů s různou krystalovou strukturou na elektronovou strukturu a termochromické chování.
Vyšetřování tribologických vlastností tenkých vrstev
(Západočeská univerzita v Plzni, 2025-07-11) Pádecký, Lukáš; Soukup Zbyněk, Ing. Ph.D.; Čerstvý Radomír, Ing. Ph.D.
V této práci byly studovány tribologické vlastnosti tenkých vrstev, konkrétně DLC vrstev dopovaných N2. Hlavním cílem bylo sledovat závislosti těchto vlastností na obsahu N2, zatěžovací síle a relativní vlhkosti prostředí v komoře. Měřenými a vyhodnocovanými parametry byly koeficient tření, otěr tenké vrstvy a otěr protikusu (kuličky). S rostoucím obsahem N2 se koeficient tření nejprve zvyšoval, přičemž maxima dosahoval při podílu 1 % N2, a poté klesal. Podobný trend byl pozorován i u otěru kuličky. Naproti tomu otěr samotné tenké vrstvy s rostoucím obsahem N kontinuálně rostl. Při zvyšování zatížení docházelo nejprve k poklesu koeficientu tření, následovanému opětovným nárůstem. Otěr kuličky i vrstvy naopak nejprve rostl a následně klesal. Relativní vlhkost vzduchu měla rovněž výrazný vliv - koeficient tření s rostoucí vlhkostí nejprve rostl, poté klesal. Otěr vrstvy se při zvyšující se vlhkosti nejprve snižoval a poté zvyšoval, zatímco otěr kuličky se zvyšoval po celou dobu.
Charakterizace elektrických vlastností tenkovrstvých polovodičů na bázi Cu₂O
(Západočeská univerzita v Plzni, 2025-05-29) Malík, Daniel; Kozák Tomáš, doc. Ing. Ph.D.; Rezek Jiří, Ing. Ph.D.
Tato bakalářská práce se zabývá elektrickými vlastnostmi tenkých vrstev Cu₂O, a to jak nedopovaných, tak dopovaných dusíkem. Zkoumána byla rezistivita, pohyblivost a koncentrace nosičů náboje u tří sérií vzorků připravených za různých podmínek a upravených žíháním s rozdílnou rychlostí ohřevu. První série byla měřena impedanční spektroskopií, ale kvůli vzniku ohmického kontaktu nebylo možné v měření pokračovat. U dalších dvou sérií byla použita Hallova metoda, včetně měření teplotní závislosti v rozsahu 300-400 K. Výsledky ukázaly, že pomalejší ohřev zvyšuje rezistivitu i mobilitu děr, zatímco dusíková příměs zvyšuje koncentraci děr a snižuje rezistivitu. Teplotní měření potvrdilo typické chování polovodiče. Cílem bylo získat přehled o těchto vlastnostech pro možné technologické využití.
Vysokoteplotní stabilita tenkovrstvých kovových skel na bázi Zr-Cu
(Západočeská univerzita v Plzni, 2025-05-28) Kaprová, Sára; Zuzjaková Šárka, Ing. Ph.D.; Červená Michaela, Ing. Ph.D.
Tato bakalářská práce se zabývá studiem vysokoteplotní stability tenkovrstvých materiálů na bázi zirkonia a mědi (Zr-Cu) s přídavkem třetího prvku - wolframu (W) a niobu (Nb). Vrstvy W-Zr-Cu a Nb-Zr-Cu byly připraveny metodou stejnosměrného magnetronového naprašování. Bylo připraveno celkem dvanáct vrstev s různým obsahem třetího prvku (W-Zr-Cu : 9-52 at.% W; NbZrCu : 9-59 at. % Nb). V rámci experimentu byla zkoumána vysokoteplotní stabilita vrstev pomocí diferenciální skenovací kalorimetrie (DSC) a rentgenové difrakce (XRD). Byl porovnán vliv jednotlivých prvků na stabilitu amorfní struktury při zvýšených teplotách a byly zkoumány procesy probíhající během ohřevu zkoumaných vrstev.
Charakterizace nanostrukturovaných povlaků pro detekci plynů
(Západočeská univerzita v Plzni, 2025-07-10) Galljamova, Daniela; Haviar Stanislav, doc. RNDr. Ph.D.; Kolenatý David, Ing. Ph.D.
Tato bakalářská práce se zabývá charakterizací nanostrukturovaných vrstev oxidu wolframu (WO3) připravených metodou DC reaktivního magnetronového naprašování v konfiguraci GLAD (Glancing Angle Deposition). Hlavním cílem bylo prozkoumat vliv úhlu depozice na morfologii vrstev a jejich senzorickou odezvu při detekci plynného vodíku (H2). Vrstvy byly připraveny pro tři depoziční úhly (0°, 85°, 88°) a následně analyzovány pomocí skenovací elektronové mikroskopie (SEM) a rentgenové difrakce (XRD). Senzorická odezva byla testována při pracovních teplotách od 400 °C do 50 °C v atmosféře syntetického vzduchu s cyklickým připouštěním 10 000 ppm vodíku. Výsledky ukázaly, že vrstvy připravené pod vysokými úhly vykazovaly výrazně vyšší citlivost a charakteristickou sloupcovou morfologii. Práce potvrzuje, že úhel depozice je efektivním nástrojem pro ladění senzorických vlastností WO3 vrstev.
Kovové materiály vytvářené atom po atomu: předpověď struktury pomocí klasické molekulární dynamiky
(Západočeská univerzita v Plzni, 2025-05-29) Lindner, Michal; Houška Jiří, prof. Ing. Ph.D.; Kos Šimon, doc. Mgr. Ph.D.
Tato bakalářská práce se zabývá simulací růstu ternárních tenkých vrstev složených z mědi, zirkonia a wolframu (Cu-Zr-W) pomocí klasické molekulární dynamiky. Cílem je predikce struktury vznikajících vrstev při různých složeních a podmínkách depozice. V práci jsou použity interakční potenciály typu EAM (Embedded Atom Method), konkrétně potenciál od Zhou et al. (2004). Simulace jsou realizovány v programu LAMMPS a následně vyhodnocovány pomocí nástrojů naprogramovaných v jazyce C a vizualizačním programu OVITO. Byly sledovány charakteristiky jako packing faktor, koordinační čísla nebo výskyt krystalických oblastí (pomocí common neighbor analysis), stejně jako vývoj vrstev při různých úhlech dopadu atomů. Výsledky byly porovnány s experimentálními daty a diskutovány s ohledem na jejich soulad a rozdíly. Práce navazuje na předchozí experimentální studii a přináší nový vhled do chování systému Cu-Zr-W na atomární úrovni.
Charakterizace termochromických povlaků na bázi VO\dindex{2}
(Západočeská univerzita v Plzni, 2024-07-11) Boura, Kryštof; Vlček Jaroslav, prof. RNDr. CSc.; Rezek Jiří, Ing. Ph.D.
Tato bakalářská práce se zabývá charakterizací termochromických povlaků na bázi dopovaného VO2 s možností budoucího použití v oblasti energeticky úsporných chytrých oken. Je popsán termochromický přechod VO2 z hlediska krystalové a elektronové struktury. Jsou představeny princip termochromických chytrých oken, veličiny sloužící k popisu jejich vlastností a kritéria, jež musí splňovat materiály určené pro výrobu jejich aktivních vrstev. Jsou zmíněna některá úskalí přípravy tenkých vrstev na bázi VO2 a stručně je popsán princip jejich depozice metodou řízeného reaktivního vysokovýkonového pulzního magnetronového naprašování. Jsou uvedeny metody měření spektrální transmitance, reflektance a absorpce, přechodové teploty a šířky dvou zakázaných pásů termochromického materiálu. Ve výsledcích je diskutován vliv příměsi stroncia na elektronovou strukturu a termochromické chování trojvrstvých povlaků s aktivní vrstvou VO2 dopovaného wolframem a stronciem.
Charakterizace tenkovrstvých materiálů pomocí rentgenové fotoelektronové spektroskopie
(Západočeská univerzita v Plzni, 2024-07-12) Benediktová, Eliška; Procházka Michal, Ing. Ph.D.; Haviar Stanislav, RNDr. Ph.D.
Tato bakalářská práce se zabývá analýzou prvkového složení a chemických stavů tenkých vrstev nanočástic metodou rentgenové fotoelektronové spektroskopie. Protože je chemická analýza jedním z klíčových aspektů vývoje nových materiálů, studuje tato práce vliv teploty žíhání na chemické stavy vzorků nanočástic oxidů mědi a wolframu vyvíjených pro detekci vodíku. Celkem jsou zkoumány tři sady vzorků - vrstva nanočástic CuOx, vrstva nanočástic WOx a kompozitní vrstva nanočástic CuOx/WOx. Vzorky byly po depozici žíhány na vzduchu za účelem změny mikrostruktury, která by mohla mít vliv na jejich senzorické vlastnosti. V práci je nejprve nastíněn stav současné problematiky v oblasti tenkých vrstev, nanomateriálů na bázi oxidů mědi a wolframu a detekce plynů. Dále jsou popsány teoretické základy použitých experimentálních metod a jsou uvedeny podmínky, za kterých depozice a analýza probíhaly. Nakonec jsou porovnány výsledky jednotlivých analýz a je uvedena jejich možná interpretace.
Andersonův model příměsi v přiblížení FLEX
(Západočeská univerzita v Plzni, 2024-07-12) Gebel, Jan; Kos Šimon, doc. Mgr. Ph.D.; Houška Jiří, prof. Ing. Ph.D.
Tato bakalářská práce se zaměřuje na Andersonův model příměsi v přiblížení FLEX (Fluctuation Exchange). Studium začíná úvodem do Andersonova modelu příměsi, který popisuje magnetické příměsi v kovech, a zkoumá jeho výsledky pomocí aproximace středního pole. Následně je představeno přiblížení FLEX jako sofistikovanější přístup, který zohledňuje fluktuace nad rámec teorie středního pole. Práce zahrnuje odvození klíčových rovnic v rámci přiblížení FLEX, jejich analytické řešení pro zjednodušené případy a použití numerických metod pro obecnější situace. Cílem je poskytnout ucelený přehled o Andersonově modelu příměsi a účinnosti přiblížení FLEX při zachycení podstatné fyziky systémů s korelovanými elektrony.
Analýza nanomateriálů pro aplikaci do PEM elektrolyzérů pomocí elektrochemické impedanční spektroskopie
(Západočeská univerzita v Plzni, 2024-07-12) Beneš, Marek; Kolenatý David, Ing. Ph.D.; Kos Šimon, doc. Mgr. Ph.D.
Vědecká komunita se v poslední době stále více zaměřuje na zdokonalování obnovitelných zdrojů a na možnosti uskladnění energie. Jednou oblastí jsou vodíkové elektrolyzéry typu PEM, jejichž části bohužel podléhají korozi a musejí se povlakovat tenkými vrstvami. Tato práce představuje jednu z metod, kterými lze měřit různé parametry těchto ochranných vrstev. Elektrochemická impedanční spektroskopie dokáže analyzovat chemické, fyzikální a materiálové vlastnosti. V této práci se objevují teoretické základy o vztahu impedance k těmto vlastnostem. Následně jsou tyto poznatky použity k analýze tenké vrstvy titanu a k interpretaci použitého modelu.
Analýza nanomateriálů pro aplikaci do PEM elektrolyzérů pomocí potenciostatické a potenciodynamické elektrochemické metody
(Západočeská univerzita v Plzni, 2024-07-12) Štrunc, Samuel; Kolenatý David, Ing. Ph.D.; Soukup Zbyněk, Ing. Ph.D.
Výroba vodíku hraje důležitější roli než kdy dříve. Širší průmyslová implementace elektrolyzérů může do budoucna pomoci jak s energetickou, tak i klimatickou krizí. Jejich rozšíření je však podmíněno účinností, životností a zejména výrobní cenou. Tato práce se zabývá přípravou a následnou analýzou tenkých vrstev TiNbO pro aplikaci v PEM elektrolyzérech. Tyto vrstvy se jeví jako potenciální alternativa k aktuálně využívaným drahým kovům. Příprava a analýza 20 vzorků proběhla s využitím moderních metod a technologií, jako je například HiPIMS nebo WDS. Subjekty byly testovány na korozní odolnost pomocí potenciostatické a potenciodynamické metody. Měření kontaktního elektrického odporu zúžilo rozsah dalšího zkoumání na 5 vzorků. Výsledná data byla následně graficky zpracována tak, aby bylo možné porovnat vliv atomárního složení na korozní odolnost a vodivost vrstvy. Na závěr proběhla diskuze získaných fyzikálních závislostí a interpretace výsledků.
Vyšetřování optických a strukturních vlastností tenkých vrstev Cu\dindex{2}O dopovaných dusíkem
(Západočeská univerzita v Plzni, 2024) Polák, Michal; Rezek Jiří, Ing. Ph.D.; Rusňák Karel, Doc. RNDr. CSc.
Tato bakalářská práce se zabývá zkoumáním optických a strukturních vlastností transparentních vodivých oxidů (TCO; transparent conductive oxides), specificky oxidů mědi dopovaných dusíkem. Jsou vysvětleny základy problematiky TCO a metody měření vlastností těchto materiálů, konkrétně elipsometrie a Ramanova spektroskopie. Tyto metody jsou použity na změření vlastností vzorků tenkých vrstev Cu\dindex{2}O dopovaných dusíkem, vyrobených reaktivním magnetronovým naprašováním při rozdílných vstupních podmínkách (teplota výroby, průtok reaktivního plynu). Pro práci jsou důležité primárně hodnoty indexu lomu vrstev, extinkčního koeficientu, šířky zakázaného pásu, a polohy píků Ramanova spektra vzorků, to vše v závislosti na energii světla interagujícího s tenkou vrstvou. Různé podmínky výroby materiálu mohou měnit vnitřní strukturu vrstvy a tím průběh výsledných závislostí zkoumaných parametrů. Jsou porovnávány zjištěné hodnoty všech veličin a změny vlastností v závislosti na výrobních podmínkách, mezi sebou i s dalšími pracemi publikovanými o podobných materiálech.
Charakterizace elektrických vlastností tenkovrstvých polovodičů na bázi Cu-O and Cu-O-N
(Západočeská univerzita v Plzni, 2024) Lucák, Lukáš; Kozák Tomáš, Doc. Ing. Ph.D.; Čerstvý Radomír, Ing. Ph.D.
Tato bakalářská práce se zaměřuje na zkoumání elektrických vlastností tenkých vrstev oxidu mědi, které byly dopovány dusíkem (Cu-O, Cu-O-N), ve dvou sériích vzorků s různými depozičními podmínkami. Byla změřena rezistivita, koncentrace nosičů náboje a jejich pohyblivost na čtvercových vzorcích pomocí Van der Pauwovy metody. Pro vybrané vzorky byla navíc změřena teplotní závislost těchto veličin v rozmezí teplot od 200 K do 580 K. Pomocí fitování teplotní závislosti koncentrace nosičů náboje byla na základě modelu příměsového polovodiče typu P určena koncentrace akceptorových hladin a jejich aktivační energie. Práce ukázala, že dopování dusíkem zvyšuje koncentraci nosičů náboje a snižuje jejich pohyblivost. S rostoucí koncentrací dusíku v materiálu také klesala rezistivita vrstev.
Studium chování tenkovrstvých kovových skel W-Zr za zvýšených teplot
(Západočeská univerzita v Plzni, 2023) Baštářová, Barbora; Zuzjaková Šárka, Ing. Ph.D.; Kos Šimon, Doc. Mgr. Ph.D.
V rámci bakalářské práce byl zkoumán vliv teploty ohřevu ve vzduchu na strukturu a vlastnosti vrstev W-Zr. Zkoumány byly tři vrstvy W-Zr s rozdílným obsahem Zr (32 at.% Zr, 48 at.% Zr a 61 at.% Zr). Tyto vrstvy byly připraveny pomocí nereaktivního stejnosměrného magnetronového naprašování v argonové atmosféře. Vyšetřována byla struktura, prvkové složení, mechanické vlastnosti, elektrická rezistivita a extinkční koeficient vrstev před a po ohřevu v syntetickém vzduchu na různé teploty až do teploty 600 °C. Vyšetřována byla také změna hmotnosti těchto vrstev během ohřevu v syntentickém vzduchu až do teploty 600 °C pomocí termogravimetrie. Bylo zjištěno, že vrstvy lze zařadit mezi amorfní kovová skla a amorfní struktura zůstává zachována i po ohřevu na teplotu 600 °C. Během ohřevu se do vrstev zabudovává kyslík, což má výrazný vliv na vlastnosti vrstev. Tvrdost, efektivní Youngův modul a elastická vratnost se zvyšují, naopak elektrická rezistivita a extinkční koeficient se snižují.
Studium elektrických a elektrochemických vlastností tenkovrstvých materiálů pro rozklad vody
(Západočeská univerzita v Plzni, 2022) Vosejpka, Jan; Čapek Jiří, Doc. Ing. Ph.D.; Pajdarová Andrea Dagmar, Mgr. Ph.D.
Tato bakalářská práce se zabývá fotoelektrochemickým rozkladem vody a produkcí vodíku. Nejprve rozebírá fotokatalytický rozklad látek se zaměřením na vodu, včetně podmínek pro průběh chemických reakcí. Následně se zevrubně věnuje fotoelektrochemickému rozkladu vody jako kompromisu mezi fotokatalytickým a elektrolytickým procesem. Popsány jsou funkce potenciostatu včetně úloh pracovní a protielektrody a referenční elektrody, která má důležitou úlohu nejen při měření, ale i při diskuzi výsledků. Dále jsou uvedeny procesy ve fotoelektrochemické komoře při štěpení vody a nároky, které jsou kladeny na pracovní polovodičovou elektrodu, která je fotoaktivní a generuje volné nosiče náboje schopné redoxních dějů. Následuje metodika fotoelektrochemických experimentů a jejich vyhodnocení včetně výpočtů účinností. Získané teoretické poznatky jsou následně aplikovány při zkoumání fotoelektrochemických vlastností tenké vrstvy Cu-W-O, která byla připravena reaktivní magnetronovou depozicí. Elipsometrickým měřením byla určena šířka zakázaného pásu, extinkční koeficient a absorpce vrstvy. Základní fotoelektrochemické vlastnosti vrstvy jako je polarita polovodiče, míra rekombinace a fotoaktivní zóna s malými temnostními proudy byly měřeny při osvitu intenzivní ultrafialovou lampou ( = 370 nm, P = 3,9 mW/2). Pokročilejší spektroskopická měření proběhla s využitím světelného zdroje J. A. Woollam HS-190. Změřeny byly fotoproudy pro vybrané vlnové délky a spočtena vnější kvantová efektivita (IPCE). Předpokládaný spočtený fotoproud při osvitu normovaným slunečním světlem AM1,5 je 1,38 A/m2. Fotoelektrochemické vlastnosti Cu-W-O jsou v této práci porovnávány s vlastnostmi tenké vrstvy materiálu WO3.
Diagnostika magnetronového výboje pomocí cavity ring-down spektroskopie
(Západočeská univerzita v Plzni, 2021) Němcová, Veronika; Pajdarová Andrea Dagmar, Mgr. Ph.D.; Kozák Tomáš, Ing. Ph.D.
Bakalářská práce se zabývá stanovením koncentrace stavů částic, kterými jsou atomy a ionty titanu a následným určením závislosti vývoje těchto koncentrací na výkonu výboje pomocí aplikace metody cavity ring-down spektroskopie (CRDS). V teoretické části práce je nejprve pojednáno o aktuálním stavu problematiky v oblasti magnetronového naprašování, průmyslových laserů a jejich využití v rámci CRDS. Krátce jsou zmíněny příklady dalších metod pro měření koncentrace stavů atomů a molekul. V rámci praktické části práce bylo provedeno měření hustoty koncentrace stavů titanových atomů a iontů příslušných multipletům obsahujících základní stav systémem CRDS v magnetronovém výboji pro naprašování vrstev. Jako zdroj záření byl v systému použit laditelný barvivový laser. Data získaná z realizovaných měření byla zpracována, vyhodnocena a byl proveden výpočet koncentrace stavů částic s následným grafickým stanovením závislosti této koncentrace na výkonu výboje. Výsledky této práce budou využívány v dalším výzkumu v oblasti magnetronového naprašování.
Nalezení optimální konfigurace vzorku pro přesné měření elektrických vlastností tenkovrstvých materiálů na bázi směsi oxidových nanočástic
(Západočeská univerzita v Plzni, 2021) Kučera, Petr; Čapek Jiří, Doc. Ing. Ph.D.; Haviar Stanislav, RNDr. Ph.D.
Tato bakalářská práce se zabývá problematikou nalezení optimální konfigurace vzorku pro přesné měření elektrických vlastností tenkovrstvých materiálů na bázi směsi oxidových nanočástic. Dosud se na katedře fyziky Fakulty aplikovaných věd Západočeské univerzity v Plzni úspěšně měřily elektrické vlastnosti senzorických tenkovrstvých oxidových materiálů klasickou čtyřbodovou metodou. S příchodem nanočásticové struktury ovšem přichází problém měření takto strukturovaných vrstev z důvodu propíchnutí a možného otření nanočástic hrotem měřící sondy. Předložená práce je tedy věnována experimentálnímu ověření vlivu konfigurace vzorku (materiál substrátu, způsob zpracování substrátu, materiál a pozice kontaktů) na měření elektrických vlastností. Jednotlivé konfigurace vzorků jsou vyšetřovány za použití souvislé vrstvy CuOx (tj. vrstvy bez nanočástic). Na základě získaných dat je vybrána optimální konfigurace vzorku pro budoucí přesné měření elektrických vlastností tenkovrstvých materiálů na bázi nanočástic pomocí čtyřbodové metody se speciálně navrženou sondou se čtvercovou konfigurací hrotů. Pro zkoumání homogenity připravených tenkovrstvých materiálů bylo využito elipsometrie. K měření jejich elektrických vlastností byla použita čtyřbodová a van der Pauwova metoda.
Charakterizace vlastností magnetronově naprašovaných vrstev na bázi kovových skel
(Západočeská univerzita v Plzni, 2021) Hodan, Ondřej; Zeman Petr, Prof. Ing. Ph.D.; Soukup Zbyněk, Ing. Ph.D.
Tato bakalářská práce je zaměřena na zkoumání mechanických vlastností magnetronově naprašovaných vrstev na bázi kovových skel pomocí analytických metod nanoindentace. Byly připraveny čtyři vzorky na bázi Zr-Cu-N s různým obsahem dusíku a mědi, jejichž složení a struktura byly charakterizovány pomocí energiově disperzní spektroskopie a rentgenové difrakce. Vzorky byly zatíženy na nanoindentoru a ze získaných dat byly různými analytickými metodami extrahovány mechanické materiálové konstanty. Vzniklé vpichy byly rovněž nasnímány pomocí mikroskopu atomárních sil a skenovacího elektronového mikroskopu. Získané výsledky jsou diskutovány a porovnány. Jednotlivé metody pak jsou ohodnoceny vzhledem ke svým přednostem nebo svým limitům.
Vliv geometrie vzorku na přesnost měření elektrických vlastností tenkovrstvých transparentních vodivých oxidů
(Západočeská univerzita v Plzni, 2021) Koloros, Jan; Kozák Tomáš, Ing. Ph.D.; Rusňák Karel, Doc. RNDr. CSc.
Tato bakalářská práce je zaměřena na zkoumání vlivu geometrie vzorku na naměřené hodnoty rezistivity a koncentrace nosičů náboje u tenkých vrstev transparentních vodivých oxidů. Rozdílné geometrie jsou zkoumány na dvou transparentních vodivých oxidech (oxid zinečnatý dopovaný hliníkem, AZO), jenž byly připravovány za různých podmínek depozice. K měření jejich elektrických vlastností byly použity van der Pauwova metoda a čtyřbodová metoda. Čtvercové vzorky byly upraveny pomocí diamantové tužky s cílem připravit geometrii nazývanou řecký kříž a disk. Měřením jsme zjistili, že nejlepší preciznosti hodnot koncentrace nosičů náboje námi měřených geometrií dosahuje u van der Pauwovy metody ideální čtvercový rozměr 8,5 x 8,5 mm, který má velkou délku vrypu, ale vryp ještě nenarušuje strukturu transparentní vodivé vrstvy ve středu vzorku. Z výsledků při měřeni van der Pauwovy metody také vidíme, že se zvětšující se délkou vrypu se zvětšuje naměřená hodnota pro rezistivitu. Hodnoty rezistivity získané oběma metodami se shodují.
HiPIMS depozice vrstev CrN
(Západočeská univerzita v Plzni, 2020) Hendrych, Ondřej; Čapek Jiří, Doc. Ing. Ph.D.; Čerstvý Radomír, Ing. Ph.D.
Tato práce se zabývá vrstvami CrN vytvořenými vysokovýkonovým pulzním reaktivním magnetronovým naprašováním (HiPIMS). Důraz je kladen na vliv záporného předpětí na substrátu na jejich růst a vlastnosti. Jedna vrstva byla připravena bez předpětí a šest vrstev s předpětím v rozmezí od -30 V do -400 V. Ukázalo se, že se vzrůstajícím záporným předpětím na substrátu klesá depoziční rychlost z maximálních 52 nm/min bez předpětí až na 26 nm/min při předpětí -400 V. Tvrdost deponované tenké vrstvy dosáhne nejvyšší hodnoty při -30 V (25.8 GPa). Bohužel záporná předpětí způsobují v deponovaných vrstvách kompresní pnutí, které je při -30 V 2.5 GPa. Takto vysoké pnutí způsobuje v této vrstvě problémy s adhezí. Při předpětí -90 V dosahuje tvrdost 22.6 GPa a pnutí 2.8 GPa, což je nejvyšší zjištěné pnutí. Pro vyšší záporná předpětí klesá jak tvrdost, tak pnutí až na minimální hodnoty při -400 V, kdy je tvrdost 17.7 GPa a pnutí 1.7 GPa. Je důležité podotknout, že pnutí je podstatně větší při naprašování s předpětím, než při naprašování bez předpětí.

Browse

Recent Submissions