Charakterizace vlastností magnetronově naprašovaných vrstev na bázi kovových skel

Abstract

Tato bakalářská práce je zaměřena na zkoumání mechanických vlastností magnetronově naprašovaných vrstev na bázi kovových skel pomocí analytických metod nanoindentace. Byly připraveny čtyři vzorky na bázi Zr-Cu-N s různým obsahem dusíku a mědi, jejichž složení a struktura byly charakterizovány pomocí energiově disperzní spektroskopie a rentgenové difrakce. Vzorky byly zatíženy na nanoindentoru a ze získaných dat byly různými analytickými metodami extrahovány mechanické materiálové konstanty. Vzniklé vpichy byly rovněž nasnímány pomocí mikroskopu atomárních sil a skenovacího elektronového mikroskopu. Získané výsledky jsou diskutovány a porovnány. Jednotlivé metody pak jsou ohodnoceny vzhledem ke svým přednostem nebo svým limitům.