Charakterizace vlastností magnetronově naprašovaných vrstev na bázi kovových skel

Date issued

2021

Journal Title

Journal ISSN

Volume Title

Publisher

Západočeská univerzita v Plzni

Abstract

Tato bakalářská práce je zaměřena na zkoumání mechanických vlastností magnetronově naprašovaných vrstev na bázi kovových skel pomocí analytických metod nanoindentace. Byly připraveny čtyři vzorky na bázi Zr-Cu-N s různým obsahem dusíku a mědi, jejichž složení a struktura byly charakterizovány pomocí energiově disperzní spektroskopie a rentgenové difrakce. Vzorky byly zatíženy na nanoindentoru a ze získaných dat byly různými analytickými metodami extrahovány mechanické materiálové konstanty. Vzniklé vpichy byly rovněž nasnímány pomocí mikroskopu atomárních sil a skenovacího elektronového mikroskopu. Získané výsledky jsou diskutovány a porovnány. Jednotlivé metody pak jsou ohodnoceny vzhledem ke svým přednostem nebo svým limitům.

Description

Subject(s)

nanoindentace, kovová skla, youngův modul, tvrdost, poissonovo číslo, pile-up, afm

Citation

OPEN License Selector