Simulace transportu rozprášených atomů v magnetronových výbojích

Abstract

Tato práce se zabývá simulací transportu neutrálních částic v magnetronových výbojích za nízkých tlaků. Zkoumá procesy v prostoru zadané geometrie a popisuje chování pracovního plynu během rozprašování kovového terče. V práci je shrnuta teorie magnetronového naprašování a numerické metody Direct Simulation Monte Carlo a popsán princip a možnosti použitého programu, který implementuje tuto metodu. Jsou provedeny simulace rozprašování titanu v argonové atmosféře při konstantním i pulzním výbojovém proudu. Je vypočítán celkový tok atomů terčového materiálu na substrát a rozdělovací funkce jejich energie. Diskutován je vliv fyzikálních veličin tlaku pracovního plynu a výbojového proudu a citlivost výsledků na vybraných parametrech numerického modelu.