Předpověď struktury vrstev ZnO vytvářených atom po atomu pomocí klasické molekulární dynamiky

Abstract

Tato práce se věnuje modelování tenké vrstvy ZnO pomocí klasické molekulární dynamiky. Interakce mezi atomy je popsána pomocí metody empirického potenci- álu. Simulace probíhala za využití software LAMMPS. Na krystalický nebo amorfní substrát ZnO přilétaly jednotlivé atomy zinku a kyslíku. Byly sledovány vlastnosti vzniklých tenkých vrstev v závislosti na energii přilétajících atomů. Ukázalo se, že tento parametr má vliv především na homogenitu vzniklé vrstvy. Při vyšších energiích roste homogenita vrstvy, ale také roste počet defektů způsobených prora- žením rychlých atomů do vrstvy a substrátu. Struktura a růst tenkých vrstev se liší i v závislosti na typu substrátu.