Charakterizace tenkovrstvých materiálů pomocí rentgenové fotoelektronové spektroskopie

Abstract

Tato bakalářská práce se zabývá analýzou prvkového složení a chemických stavů tenkých vrstev nanočástic metodou rentgenové fotoelektronové spektroskopie. Protože je chemická analýza jedním z klíčových aspektů vývoje nových materiálů, studuje tato práce vliv teploty žíhání na chemické stavy vzorků nanočástic oxidů mědi a wolframu vyvíjených pro detekci vodíku. Celkem jsou zkoumány tři sady vzorků - vrstva nanočástic CuOx, vrstva nanočástic WOx a kompozitní vrstva nanočástic CuOx/WOx. Vzorky byly po depozici žíhány na vzduchu za účelem změny mikrostruktury, která by mohla mít vliv na jejich senzorické vlastnosti. V práci je nejprve nastíněn stav současné problematiky v oblasti tenkých vrstev, nanomateriálů na bázi oxidů mědi a wolframu a detekce plynů. Dále jsou popsány teoretické základy použitých experimentálních metod a jsou uvedeny podmínky, za kterých depozice a analýza probíhaly. Nakonec jsou porovnány výsledky jednotlivých analýz a je uvedena jejich možná interpretace.