Vysokovýkonová pulzní reaktivní magnetronová depozice termochromických vrstev na bázi VO2

Abstract

Tato práce je zaměřena na reaktivní depozici V1-xWxO2 vrstev pomocí vysokovýkonového pulzního magnetronového zdroje a jejich termochromické vlastnosti. Jsou popsány nedostatky současných VO2 vrstev a jejich možné budoucí řešení. Mezi ty patří využití antireflexní vrstvy ke zlepšení optických vlastností a využití dopování wolframu do VO2 struktury ke snížení přechodové teploty. Rozebrána je také depoziční aparatura a analytické metody, jako jsou rentgenová difrakce a spektrofotometrie. Pomocí rentgenové difrakce bylo rozebráno fázové složení V1-xWxO2 vrstev. Je ukázán vliv tloušťky V1-xWxO2 a antireflexní vrstvy na optické vlastnosti V1-xWxO2 měřené pomocí spektrofotometrie.