Naprašování nanokompozitních vrstev Ti-Si-O-N a jejich vlastnosti

Show simple item record
dc.contributor.advisorMusil, Jindřich
dc.contributor.authorZítek, Michal
dc.contributor.refereeTölg, Tomáš
dc.date.accepted2012-06-27
dc.date.accessioned2013-06-19T06:55:57Z
dc.date.available2011-05-01cs
dc.date.available2013-06-19T06:55:57Z
dc.date.issued2012
dc.date.submitted2012-05-29
dc.description.abstractPředmětem této práce je příprava tenkých vrstev Ti-Si-O-N pomocí DC pulzního nevyváže-ného magnetronového naprašování. Byly použity dva skládané Si-Ti terče s různým poměrem Si a Ti v erozivní zóně pro přípravu dvou sérií vzorků. Reaktivní plyn (O2) byl napouštěn pulzně. Byl zkoumán vliv pracovního cyklu při pulzním napouštění O2 na strukturu, depoziční rychlost a optické a mechanické vlastnosti. Struktura byla zkoumána rentgenovou difrakcí. Optické vlastnosti byly zjišťovány pomocí spektrofotometru a elipsometru. Mechanické vlastnosti byly určovány ze zkoušky mikrotvrdosti.cs
dc.description.abstract-translatedThe subject of this thesis is the deposition of Ti-Si-O-N thin films using a pulsed DC reactive unbalanced magnetron sputtering. There were used two stacked Si-Ti targets with a different ratio of Si and Ti in the erosive zone for the deposition of samples from two series. Reactive gas pulsing process was used for oxygen. The duty cycle of oxygen on structure, deposition rate, optical and mechanical properties of the obtained films have been analysed. The structure of the films was characterized by X-ray diffraction. The optical properties were investigated by spectrophotometer and ellipsometry. Mechanical properties were determined of microhardness test.en
dc.description.departmentKatedra fyzikycs
dc.description.resultObhájenocs
dc.format40 s. (45 000 znaků)cs
dc.format.mimetypeapplication/pdf
dc.identifier49977
dc.identifier.urihttp://hdl.handle.net/11025/3719
dc.language.isocscs
dc.publisherZápadočeská univerzita v Plznics
dc.rightsPlný text práce je přístupný bez omezení.cs
dc.rights.accessopenAccessen
dc.subjectTi-Si-O-Ncs
dc.subjecttenké vrstvycs
dc.subjectreaktivní magnetronové naprašovánícs
dc.subjectmechanické vlastnostics
dc.subjectoptické vlastnostics
dc.subject.translatedTi-Si-O-Nen
dc.subject.translatedthin filmsen
dc.subject.translatedreactive magnetron sputteringen
dc.subject.translatedmechanical propertiesen
dc.subject.translatedoptical propertiesen
dc.thesis.degree-grantorZápadočeská univerzita v Plzni. Fakulta aplikovaných vědcs
dc.thesis.degree-levelBakalářskýcs
dc.thesis.degree-nameBc.cs
dc.thesis.degree-programAplikované vědy a informatikacs
dc.titleNaprašování nanokompozitních vrstev Ti-Si-O-N a jejich vlastnostics
dc.title.alternativeSputtering of Ti-Si-O-N nanocomposite films and their propertiesen
dc.typebakalářská prácecs
local.relation.IShttps://portal.zcu.cz/StagPortletsJSR168/CleanUrl?urlid=prohlizeni-prace-detail&praceIdno=49977

Files

Original bundle
Showing 1 - 4 out of 4 results
No Thumbnail Available
Name:
Zitek - Bakalarska prace.pdf
Size:
1.89 MB
Format:
Adobe Portable Document Format
Description:
Plný text práce
Download
No Thumbnail Available
Name:
Zitek_vedouci.pdf
Size:
372.65 KB
Format:
Adobe Portable Document Format
Description:
Posudek vedoucího práce
Download
No Thumbnail Available
Name:
Zitek_oponent.pdf
Size:
481.89 KB
Format:
Adobe Portable Document Format
Description:
Posudek oponenta práce
Download
No Thumbnail Available
Name:
Zitek_otazky.pdf
Size:
196.68 KB
Format:
Adobe Portable Document Format
Description:
Průběh obhajoby práce
Download

Collections

Bachelor´s works (KFY)