Naprašování nanokompozitních vrstev Ti-Si-O-N a jejich vlastnosti
Date issued
2012
Authors
Journal Title
Journal ISSN
Volume Title
Publisher
Západočeská univerzita v Plzni
Abstract
Předmětem této práce je příprava tenkých vrstev Ti-Si-O-N pomocí DC pulzního nevyváže-ného magnetronového naprašování. Byly použity dva skládané Si-Ti terče s různým poměrem Si a Ti v erozivní zóně pro přípravu dvou sérií vzorků. Reaktivní plyn (O2) byl napouštěn pulzně. Byl zkoumán vliv pracovního cyklu při pulzním napouštění O2 na strukturu, depoziční rychlost a optické a mechanické vlastnosti. Struktura byla zkoumána rentgenovou difrakcí. Optické vlastnosti byly zjišťovány pomocí spektrofotometru a elipsometru. Mechanické vlastnosti byly určovány ze zkoušky mikrotvrdosti.
Description
Subject(s)
Ti-Si-O-N, tenké vrstvy, reaktivní magnetronové naprašování, mechanické vlastnosti, optické vlastnosti