Depozice funkčních tenkovrstvých materiálů pomocí pokročilých naprašovacích technik

Show simple item record
dc.contributor.authorBatková, Šárka
dc.date.accepted2021-12-14
dc.date.accessioned2023-06-13T07:57:07Z
dc.date.available2021-6-1
dc.date.available2023-06-13T07:57:07Z
dc.date.issued2021
dc.date.submitted2021-11-15
dc.description.abstractMateriály ze systému Ta-O-N nabízejí velice slibné vlastnosti pro produkci vodíku rozkladem vody aktivovaným světlem. Tato disertační práce se zabývá přípravou a systematickým výzkumem vrstev Ta-O-N s velmi jemně laděným prvkovým složením. Protože by mělo být možné ještě dále vylepšit funkčnost materiálu vylepšením jeho struktury a přidáním nanočástic, byly dále zkoumány i pokročilé magnetronové depoziční techniky: (a) bipolární HiPIMS a jeho vliv na strukturu a vlastnosti rostoucí vrstvy a (b) magnetronový agregační zdroj nanočástic a možnost kontroly jejich velikosti.cs
dc.description.abstract-translatedMaterials from the Ta-O-N system offer very promising properties in terms of hydrogen production via light-induced water splitting. This Ph.D. thesis deals with the preparation and systematic investigation of Ta-O-N films with very finely-tuned elemental composition. Because it should be possible to even further enhance the water splitting performance in future research by tuning of the material structure and by addition of nanoparticles, advanced magnetron-based deposition techniques were also investigated: (a) bipolar HiPIMS and its effects on the structure and properties of the prepared films and (b) magnetron-based gas-aggregation source of nanoparticles and the possibility of nanoparticle size control.en
dc.description.resultObhájeno
dc.format75 s.
dc.identifier90256
dc.identifier.urihttp://hdl.handle.net/11025/52934
dc.language.isoen
dc.publisherZápadočeská univerzita v Plzni
dc.rightsPlný text práce je přístupný bez omezení
dc.subjectta-o-ncs
dc.subjectoxynitrid tantalucs
dc.subjectrozklad vodycs
dc.subjectvysokovýkonové pulzní magnetronové naprašovánícs
dc.subjecthipimscs
dc.subjectbipolární hipimscs
dc.subjectnanočásticecs
dc.subjectmagnetronový agregační zdrojcs
dc.subjectvýstupní štěrbinacs
dc.subject.translatedta-o-nen
dc.subject.translatedtantalum oxynitrideen
dc.subject.translatedwater splittingen
dc.subject.translatedhigh-power impulse magnetron sputteringen
dc.subject.translatedhipimsen
dc.subject.translatedbipolar hipimsen
dc.subject.translatednanoparticlesen
dc.subject.translatedgas-aggregation sourceen
dc.subject.translatedexit orificeen
dc.thesis.degree-grantorZápadočeská univerzita v Plzni. Fakulta aplikovaných věd
dc.thesis.degree-levelDoktorský
dc.thesis.degree-namePh.D.
dc.thesis.degree-programAplikované vědy a informatika
dc.titleDepozice funkčních tenkovrstvých materiálů pomocí pokročilých naprašovacích technikcs
dc.title.alternativeDeposition of functional thin-film materials by advanced sputtering techniquesen
dc.typedisertační práce
local.relation.IShttps://portal.zcu.cz/StagPortletsJSR168/CleanUrl?urlid=prohlizeni-prace-detail&praceIdno=90256

Files

Original bundle
Showing 1 - 3 out of 3 results
No Thumbnail Available
Name:
Disertace_Batkova.pdf
Size:
14.72 MB
Format:
Adobe Portable Document Format
Description:
Plný text práce
Download
No Thumbnail Available
Name:
posudky-odp-batkova.pdf
Size:
141.42 KB
Format:
Adobe Portable Document Format
Description:
Posudek oponenta práce
Download
No Thumbnail Available
Name:
protokol-odp-batkova.pdf
Size:
290.92 KB
Format:
Adobe Portable Document Format
Description:
Průběh obhajoby práce
Download

Collections

Dissertations (KFY)