Depozice funkčních tenkovrstvých materiálů pomocí pokročilých naprašovacích technik
Date issued
2021
Authors
Journal Title
Journal ISSN
Volume Title
Publisher
Západočeská univerzita v Plzni
Abstract
Materiály ze systému Ta-O-N nabízejí velice slibné vlastnosti pro produkci vodíku rozkladem vody aktivovaným světlem. Tato disertační práce se zabývá přípravou a systematickým výzkumem vrstev Ta-O-N s velmi jemně laděným prvkovým složením. Protože by mělo být možné ještě dále vylepšit funkčnost materiálu vylepšením jeho struktury a přidáním nanočástic, byly dále zkoumány i pokročilé magnetronové depoziční techniky: (a) bipolární HiPIMS a jeho vliv na strukturu a vlastnosti rostoucí vrstvy a (b) magnetronový agregační zdroj nanočástic a možnost kontroly jejich velikosti.
Description
Subject(s)
ta-o-n, oxynitrid tantalu, rozklad vody, vysokovýkonové pulzní magnetronové naprašování, hipims, bipolární hipims, nanočástice, magnetronový agregační zdroj, výstupní štěrbina