Charakterizace nanostrukturovaných povlaků pro detekci plynů

Show simple item record
dc.contributor.advisorHaviar Stanislav, doc. RNDr. Ph.D.cs
dc.contributor.authorGalljamova, Danielacs
dc.contributor.refereeKolenatý David, Ing. Ph.D.cs
dc.date.accepted2025-08-26
dc.date.accessioned2026-02-21T18:02:51Z
dc.date.available2024-10-15
dc.date.available2026-02-21T18:02:51Z
dc.date.issued2025-07-10
dc.date.submitted2025-07-10
dc.description.abstractTato bakalářská práce se zabývá charakterizací nanostrukturovaných vrstev oxidu wolframu (WO3) připravených metodou DC reaktivního magnetronového naprašování v konfiguraci GLAD (Glancing Angle Deposition). Hlavním cílem bylo prozkoumat vliv úhlu depozice na morfologii vrstev a jejich senzorickou odezvu při detekci plynného vodíku (H2). Vrstvy byly připraveny pro tři depoziční úhly (0°, 85°, 88°) a následně analyzovány pomocí skenovací elektronové mikroskopie (SEM) a rentgenové difrakce (XRD). Senzorická odezva byla testována při pracovních teplotách od 400 °C do 50 °C v atmosféře syntetického vzduchu s cyklickým připouštěním 10 000 ppm vodíku. Výsledky ukázaly, že vrstvy připravené pod vysokými úhly vykazovaly výrazně vyšší citlivost a charakteristickou sloupcovou morfologii. Práce potvrzuje, že úhel depozice je efektivním nástrojem pro ladění senzorických vlastností WO3 vrstev.cs
dc.description.abstract-translatedThis bachelor's thesis focuses on the characterization of nanostructured tungsten oxide (WO3) layers prepared by DC reactive magnetron sputtering in a GLAD (Glancing Angle Deposition) configuration. The main objective was to investigate the influence of deposition angle on the morphology of the layers and their sensor response during hydrogen (H2) detection. Samples were fabricated at three deposition angles (0°, 85°, and 88°) and subsequently analyzed using Scanning Electron Microscopy (SEM) and X-ray Diffraction (XRD). Sensor response was measured across operating temperatures ranging from 400 °C to 50 °C in a synthetic air atmosphere, with cyclic exposure to 10,000 ppm hydrogen. The results showed that layers prepared at high deposition angles exhibited significantly enhanced sensitivity and a characteristic columnar morphology. The findings confirm that the deposition angle is an effective parameter for tuning the gas-sensing properties of WO3 layers.en
dc.description.departmentKatedra fyzikycs
dc.description.resultObhájenocs
dc.format57
dc.identifier100812
dc.identifier.urihttp://hdl.handle.net/11025/66624
dc.language.isocs
dc.publisherZápadočeská univerzita v Plznics
dc.rightsPlný text práce je přístupný bez omezenícs
dc.rights.accessopenAccesscs
dc.subjectkonduktometrické senzorycs
dc.subjectMOScs
dc.subjectWO3cs
dc.subjectGLADcs
dc.subjectmagnetronové naprašovánícs
dc.subjectsenzorická odezvacs
dc.subjectH2cs
dc.subject.translatedconductometric sensorsen
dc.subject.translatedMOSen
dc.subject.translatedWO3en
dc.subject.translatedGLADen
dc.subject.translatedmagnetron sputteringen
dc.subject.translatedsensor responseen
dc.subject.translatedH2en
dc.thesis.degree-grantorZápadočeská univerzita v Plzni. Fakulta aplikovaných vědcs
dc.thesis.degree-levelBakalářskýcs
dc.thesis.degree-nameBc.cs
dc.thesis.degree-programAplikovaná fyzika a fyzikální inženýrstvícs
dc.titleCharakterizace nanostrukturovaných povlaků pro detekci plynůcs
dc.typebakalářská prácecs
local.files.count4*
local.files.size15317542*
local.has.filesyes*
local.relation.IShttps://portal.zcu.cz/StagPortletsJSR168/CleanUrl?urlid=prohlizeni-prace-detail&praceIdno=100812

Files

Original bundle
Showing 1 - 4 out of 4 results
No Thumbnail Available
Name:
BP_Galljamova_A22B0001P.pdf
Size:
13.88 MB
Format:
Adobe Portable Document Format
Description:
VŠKP
Download
No Thumbnail Available
Name:
PV_Galljamova_A22B0001P.pdf
Size:
80.74 KB
Format:
Adobe Portable Document Format
Description:
Posudek vedoucího VŠKP
Download
No Thumbnail Available
Name:
PO_Galljamova_A22B0001P.pdf
Size:
624.9 KB
Format:
Adobe Portable Document Format
Description:
Posudek oponenta VŠKP
Download
No Thumbnail Available
Name:
PB_Galljamova_A22B0001P_generated_by_STAG.pdf
Size:
38.88 KB
Format:
Adobe Portable Document Format
Description:
Průběh obhajoby VŠKP
Download

Collections

Bachelor´s works (KFY)