Charakterizace nanostrukturovaných povlaků pro detekci plynů

Abstract

Tato bakalářská práce se zabývá charakterizací nanostrukturovaných vrstev oxidu wolframu (WO3) připravených metodou DC reaktivního magnetronového naprašování v konfiguraci GLAD (Glancing Angle Deposition). Hlavním cílem bylo prozkoumat vliv úhlu depozice na morfologii vrstev a jejich senzorickou odezvu při detekci plynného vodíku (H2). Vrstvy byly připraveny pro tři depoziční úhly (0°, 85°, 88°) a následně analyzovány pomocí skenovací elektronové mikroskopie (SEM) a rentgenové difrakce (XRD). Senzorická odezva byla testována při pracovních teplotách od 400 °C do 50 °C v atmosféře syntetického vzduchu s cyklickým připouštěním 10 000 ppm vodíku. Výsledky ukázaly, že vrstvy připravené pod vysokými úhly vykazovaly výrazně vyšší citlivost a charakteristickou sloupcovou morfologii. Práce potvrzuje, že úhel depozice je efektivním nástrojem pro ladění senzorických vlastností WO3 vrstev.