Multifunctional MoOx and MoOxNy films with 2.5 < x < 3.0 and y < 0.2 prepared using controlled reactive deep oscillation magnetron sputtering

Show simple item record
dc.contributor.authorProcházka, Michal
dc.contributor.authorVlček, Jaroslav
dc.contributor.authorHouška, Jiří
dc.contributor.authorHaviar, Stanislav
dc.contributor.authorČerstvý, Radomír
dc.contributor.authorVeltruská, Kateřina
dc.date.accessioned2021-02-08T11:00:26Z
dc.date.available2021-02-08T11:00:26Z
dc.date.issued2021
dc.description.abstractReaktivní magnetronové naprašování s hlubokými oscilacemi, pulzní kontrolou toku reaktivního plynu a vstupem reaktivního plynu, orientovaným k substrátu a umístěným v zóně hustého plazmatu před Mo terčem, bylo použito pro nízkoteplotní (< 120 °C) přípravu vrstev MoOx a MoOxNy s 2,5 < x < 3,0 a y < 0,2. Vysvětlujeme výhody použité depoziční techniky umožňující hladkou a reprodukovatelnou kontrolu složení vrstev a tím i jejich struktury a vlastností. Speciální pozornost věnujeme silnému dopadu malého snížení x ve vrstvách MoOx a malého zvýšení y ve vrstvách MoOxNy na jejich optické a elektrické vlastnosti, které přímo souvisí s proměnnou elektronovou strukturou těchto vrstev. Diskutujeme možné aplikace těchto vrstev v oblasti solárních článků, organické elektroniky a lithium-iontových baterií.cs
dc.description.abstract-translatedReactive deep oscillation magnetron sputtering with a pulsed reactive gas flow control and to-substrate reactive gas injection into the high-density plasma in front of the sputtered Mo target was used for a low-temperature (< 120 °C) preparation of MoOx and MoOxNy films with 2.5 < x < 3.0 and y < 0.2. We explain the advantages of this deposition technique, allowing us to control smoothly and reproducibly the film composition and thus the film structure and properties. Special attention is paid to the strong effect of slightly decreasing x in MoOx films and slightly increasing y in MoOxNy films on their optical and electrical properties which are directly related to varying electronic structure of the films. We discuss possible applications of these films in the field of solar cells, organic electronic devices and lithium-ion batteries.en
dc.format9 s.cs
dc.format.mimetypeapplication/pdf
dc.identifier.citationPROCHÁZKA, M., VLČEK, J., HOUŠKA, J., HAVIAR, S., ČERSTVÝ, R., VELTRUSKÁ, K. Multifunctional MoOx and MoOxNy films with 2.5 &lt; x &lt; 3.0 and y &lt; 0.2 prepared using controlled reactive deep oscillation magnetron sputtering. Thin Solid Films, 2021, roč. 717, č. 1 JANUARY 2021, s. „138442-1“ - „138442-9“. ISSN 0040-6090.cs
dc.identifier.document-number604796900002
dc.identifier.doi10.1016/j.tsf.2020.138442
dc.identifier.issn0040-6090
dc.identifier.obd43931044
dc.identifier.uri2-s2.0-85097180111
dc.identifier.urihttp://hdl.handle.net/11025/42623
dc.language.isoenen
dc.project.IDEF17_048/0007267/InteCom: VaV inteligentních komponent pokročilých technologií pro plzeňskou metropolitní oblastcs
dc.publisherElsevieren
dc.relation.ispartofseriesThin Solid Filmsen
dc.rightsPlný text není přístupný.cs
dc.rights© Elsevieren
dc.rights.accessclosedAccessen
dc.subjectRedukované trioxidy molybdenucs
dc.subjectOxynitridy molybdenucs
dc.subjectKontrolované reaktivní magnetronové naprašování s hlubokými oscilacemics
dc.subjectŘiditelné složenícs
dc.subjectOptické vlastnostics
dc.subjectElektrická vodivostcs
dc.subject.translatedReduced molybdenum trioxidesen
dc.subject.translatedMolybdenum oxynitridesen
dc.subject.translatedControlled reactive deep oscillation magnetron sputteringen
dc.subject.translatedTunable compositionen
dc.subject.translatedOptical propertiesen
dc.subject.translatedElectrical conductivityen
dc.titleMultifunctional MoOx and MoOxNy films with 2.5 < x < 3.0 and y < 0.2 prepared using controlled reactive deep oscillation magnetron sputteringen
dc.title.alternativeMultifunkční vrstvy MoOx a MoOxNy s 2,5 < x < 3,0 a y < 0,2 připravené pomocí kontrolovaného reaktivního magnetronového naprašování s hlubokými oscilacemics
dc.typečlánekcs
dc.typearticleen
dc.type.statusPeer-revieweden
dc.type.versionpublishedVersionen

Files

Collections

Articles (KFY)
 Articles (NTIS)