Nestacionární model pro vysokovýkonové pulzní magnetronové rozprašování kovů

Show simple item record
dc.contributor.advisorPajdarová, Andrea Dagmar
dc.contributor.advisorKozák, Tomáš
dc.contributor.authorKrejčová, Milada
dc.contributor.refereeSlavík, Jan
dc.date.accepted2013-08-22
dc.date.accessioned2014-02-06T12:56:20Z
dc.date.available2012-05-01cs
dc.date.available2014-02-06T12:56:20Z
dc.date.issued2013
dc.date.submitted2013-08-16
dc.description.abstractPředkládaná bakalářská práce se v úvodu zabývá využitím plazmových technologií. Dále popisuje základy magnetronového naprašování, jejich vývoj a použití, přičemž se zaměřuje především na vysokovýkonové pulzní magnetronové naprašování. Poté rozebírá základní metody modelování a simulace plazmatu a zaobírá se jednotlivými modely pro vysokovýkonové pulzní magnetronové výboje. Ve zvolených metodách zpracování popisuje, jak byl doplněn stávající nestacionární model pro vysokovýkonové pulzní magnetronové rozprašování kovů o parametry nutné k modelování rozprašování tantalu, titanu a zirkonia. Ve výsledcích jsou ukázány a diskutovány závislosti proudové hustoty na třech různých parametrech - výbojovém napětí Ud, koe?cientu zpětného zachycení sekundárních elektronů terčem r a hodnotě faktoru určujícího sekundární emisi elektronů z terče po dopadu iontu rozprašovaného kovu s.cs
dc.description.abstract-translatedThe presented bachelor?s thesis is at the beggining focused on using of plasma tech-nologies. Next, it explains basics of magnetron sputtering, its developement and use, with focus on High Power Impulse Magnetron Sputtering. Afterwards, it discusses ba-sic methods in modelling and simulation of plasma, with closer look on speci?c models for High Power Impulse Magnetron Sputtering discharges. The thesis describes how current non-stationary model for High Power Impulse Magnetron Sputtering of metals was supplemented with parameters necessary for modelling of tantal, titanium and zir-conium sputtering. The results are presented and discussed, with focus on dependence of current density on three parameters: discharge voltage Ud, coe cient of recapture of secondary electrons to target r and factor of secondary emission of electrons from target after impact by ion of sputtered metal s.en
dc.description.departmentKatedra fyzikycs
dc.description.resultObhájenocs
dc.format51 s.cs
dc.format.mimetypeapplication/pdf
dc.identifier54745
dc.identifier.urihttp://hdl.handle.net/11025/9865
dc.language.isocscs
dc.publisherZápadočeská univerzita v Plznics
dc.rightsPlný text práce je přístupný bez omezení.cs
dc.rights.accessopenAccessen
dc.subjectplazmacs
dc.subjectvysokovýkonové pulzní magnetronové naprašovánícs
dc.subjectrozprašování kovůcs
dc.subjectHiPIMScs
dc.subjectmodelovánícs
dc.subjectsimulacecs
dc.subjectnestacionární globální modelcs
dc.subject.translatedplasmaen
dc.subject.translatedhigh power impulse magnetron sputteringen
dc.subject.translatedsputtering of metalsen
dc.subject.translatedHiPIMSen
dc.subject.translatedmodellingen
dc.subject.translatedsimulationen
dc.subject.translatednon-stacionary global modelen
dc.thesis.degree-grantorZápadočeská univerzita v Plzni. Fakulta aplikovaných vědcs
dc.thesis.degree-levelBakalářskýcs
dc.thesis.degree-nameBc.cs
dc.thesis.degree-programAplikované vědy a informatikacs
dc.titleNestacionární model pro vysokovýkonové pulzní magnetronové rozprašování kovůcs
dc.title.alternativeNon-stacionary model for High Power Magnetron sputtering of metalsen
dc.typebakalářská prácecs
local.relation.IShttps://portal.zcu.cz/StagPortletsJSR168/CleanUrl?urlid=prohlizeni-prace-detail&praceIdno=54745

Files

Original bundle
Showing 1 - 4 out of 4 results
No Thumbnail Available
Name:
BP - Krejcova Milada.pdf
Size:
4.56 MB
Format:
Adobe Portable Document Format
Description:
Plný text práce
Download
No Thumbnail Available
Name:
Krejcova_vedouci.pdf
Size:
525.03 KB
Format:
Adobe Portable Document Format
Description:
Posudek vedoucího práce
Download
No Thumbnail Available
Name:
Krejcova_oponent.pdf
Size:
579.18 KB
Format:
Adobe Portable Document Format
Description:
Posudek oponenta práce
Download
No Thumbnail Available
Name:
Krejcova_otazky.pdf
Size:
202.39 KB
Format:
Adobe Portable Document Format
Description:
Průběh obhajoby práce
Download

Collections

Bachelor´s works (KFY)