Monte Carlo simulace napouštění reaktivního plynu pro reaktivní magnetronové naprašování vrstev

Show simple item record
dc.contributor.advisorKozák Tomáš, Ing. Ph.D.
dc.contributor.authorŠula, Michal
dc.contributor.authorKozák Tomáš, Ing. Ph.D.
dc.contributor.refereeKos Šimon, Doc. Mgr. Ph.D.
dc.date.accepted2016-8-31
dc.date.accessioned2017-02-21T08:28:26Z
dc.date.available2015-5-1
dc.date.available2017-02-21T08:28:26Z
dc.date.issued2016
dc.date.submitted2016-5-27
dc.description.abstractPředkládaná diplomová práce se zabývá, v úvodu, shrnutím současného stavu technologie reaktivního magnetronového naprašování. Stručně prochází historický vývoj, moderní poznatky a problémy naprašovacího procesu. V další části práce je popsán přístup k numerické simulaci transportu reaktivního plynu uvnitř vakuové komory pomocí Monte Carlo metod. Následně je popsán návrh algoritmu numerické simulace transportu částic a příslušný užitý matematický model, při uvažování pouze kinetických interakcí reakčního plynu, a zanedbání vlivu přítomnosti plazmatu během naprašovacího procesu. Na konci práce jsou prezentovány výsledky simulací a diskuze, rozebírající vliv tlaku, velikosti průtoku a vzdálenosti výpusti napouštěcího zařízení reaktivního plynu na prostorové rozložení hustoty reaktivního plynu a rozložení dopadů na substrát a terč ve stacionárním stavu.cs
dc.description.abstract-translatedThe presented diploma thesis, at the beginning, focuses on the theory reactive magnetron sputtering. It briefly discusses historical development, modern trends and possible issues with the application of the technology. In the next part, it describes a model using Monte Carlo methods for numerical simulation of the problem of reactive gas transport inside a vacuum chamber. The model assumes only kinetic interactions between the inert gas and the reactive gas in the vacuum chamber, and omits effects of plasma discharge induced in the chamber. In the next part, an algorythm, used for the gas transport simulation, is discussed and presented. In the final chapter, results from the numerical simulations are presented, and influence of gas pressure, flow rate of the reactive gas and the distance of the reactive gas inlet from the target are discussed.en
dc.description.resultObhájenocs
dc.format62 s. (63 000 znaků)cs
dc.format.mimetypeapplication/pdf
dc.identifier68831
dc.identifier.urihttp://hdl.handle.net/11025/23705
dc.language.isocscs
dc.publisherZápadočeská univerzita v Plznics
dc.rightsPlný text práce je přístupný bez omezení.cs
dc.rights.accessopenAccessen
dc.subjectreaktivní magnetronové naprašovánícs
dc.subjectmonte carlo metodacs
dc.subjectnumerická simulace transportu za nízkého tlakucs
dc.subject.translatedreactive magnetron sputteringen
dc.subject.translatedmonte carlo methoden
dc.subject.translatednumerical simulation of reactive gas transport in a vacuum chamberen
dc.thesis.degree-grantorZápadočeská univerzita v Plzni. Fakulta aplikovaných vědcs
dc.thesis.degree-levelNavazujícícs
dc.thesis.degree-nameIng.cs
dc.thesis.degree-programAplikované vědy a informatikacs
dc.titleMonte Carlo simulace napouštění reaktivního plynu pro reaktivní magnetronové naprašování vrstevcs
dc.title.alternativeMonte Carlo simulation of reactive gas transport in reactive magnetron sputteringen
dc.typediplomová prácecs
local.relation.IShttps://portal.zcu.cz/StagPortletsJSR168/CleanUrl?urlid=prohlizeni-prace-detail&praceIdno=68831

Files

Original bundle
Showing 1 - 4 out of 4 results
No Thumbnail Available
Name:
sulam_dp.pdf
Size:
2.51 MB
Format:
Adobe Portable Document Format
Description:
Plný text práce
Download
No Thumbnail Available
Name:
Sula_vedouci.pdf
Size:
406.08 KB
Format:
Adobe Portable Document Format
Description:
Posudek vedoucího práce
Download
No Thumbnail Available
Name:
Sula_oponent.pdf
Size:
2.36 MB
Format:
Adobe Portable Document Format
Description:
Posudek oponenta práce
Download
No Thumbnail Available
Name:
Sula_otazky.pdf
Size:
249.6 KB
Format:
Adobe Portable Document Format
Description:
Průběh obhajoby práce
Download

Collections

Theses (KFY)