Time-resolved Langmuir probe diagnostics of high-power pulsed dc magnetron discharges during deposition of copper films
| dc.contributor.author | Pajdarová, Andrea Dagmar | |
| dc.contributor.author | Vlček, Jaroslav | |
| dc.contributor.author | Musil, Jindřich | |
| dc.contributor.author | Kudláček, Pavel | |
| dc.contributor.author | Lukáš, Jan | |
| dc.date.accessioned | 2013-03-06T11:27:59Z | |
| dc.date.available | 2013-03-06T11:27:59Z | |
| dc.date.issued | 2007 | |
| dc.description.abstract | Elektronové rozdělovací funkce podle energie a lokální plazmové parametry byly zkoumány v pozici u substrátu (100mm od terče) pomocí časově rozlišené diagnostiky Langmuirovou sondou během vysokovýkonového pulzního dc magnetronového naprašování měděných vrstev. Velmi vysokých hustot plazmatu (až 2.1012cm-3) bylo dosaženo při opakovací frekvenci pulzů napětí fr=1kHz, délce pulzu t1=200μs, tlaku argonu p=1Pa a průměrném proudu v pulzu Ida=50A. Při stejných podmínkách kinetická energie elektronů rostla s rostoucím výkonem během pulzu. Po iniciační fázi byla v intervalu 10500-12500K. Na začátku pulzu byly zaznamenány poklesy plovoucího potenciálu plazmatu. | cs |
| dc.format | 2 s. | cs |
| dc.format.mimetype | application/pdf | |
| dc.identifier.citation | XXVIII International conference on phenomena in ionized gases: July 15-20, 2007, Prague, Czech Republic: proceedings. Praha: Institute of Plasma Physics AS CR, 2007, p. 1960-1962. | en |
| dc.identifier.isbn | 978-80-87026-01-4 | |
| dc.identifier.uri | http://icpig2007.ipp.cas.cz/files/download/cd-cko/ICPIG2007/pdf/5P08-11.pdf | |
| dc.identifier.uri | http://hdl.handle.net/11025/1439 | |
| dc.language.iso | en | en |
| dc.publisher | Institute of Plasma Physics AS CR | en |
| dc.relation.ispartofseries | XXVIII International conference on phenomena in ionized gases: July 15-20, 2007, Prague, Czech Republic: proceedings | en |
| dc.rights | © Andrea Dagmar Pajdarová, Jaroslav Vlček, Jindřich Musil, Pavel Kudláček, Jan Lukáš | cs |
| dc.rights.access | openAccess | en |
| dc.subject | vysokovýkonový pulzní magnetron | cs |
| dc.subject | magnetronová depozice | cs |
| dc.subject | Langmuirova sonda | cs |
| dc.subject | plazmová fyzika | cs |
| dc.subject | diagnostika | en |
| dc.subject.translated | high-power pulsed magnetron | en |
| dc.subject.translated | magnetron deposition | en |
| dc.subject.translated | Langmuir probe | en |
| dc.subject.translated | plasma physics | en |
| dc.subject.translated | diagnostics | en |
| dc.title | Time-resolved Langmuir probe diagnostics of high-power pulsed dc magnetron discharges during deposition of copper films | en |
| dc.type | článek | cs |
| dc.type | konferenční příspěvek | cs |
| dc.type | article | en |
| dc.type | conferenceObject | en |
| dc.type.status | Peer-reviewed | en |
| dc.type.version | publishedVersion | en |
Files
Original bundle
1 - 1 out of 1 results
License bundle
1 - 1 out of 1 results
No Thumbnail Available
- Name:
- license.txt
- Size:
- 1.71 KB
- Format:
- Item-specific license agreed upon to submission
- Description: