Monographs and collective monographs (KFY)

Permanent URI for this collection

http://hdl.handle.net/11025/29974

Browse

Recent Submissions

Showing 1 - 1 out of 1 results
  • Thumbnail Image
    Item
    Time-resolved Langmuir probe diagnostics of high-power pulsed dc magnetron discharges during deposition of copper films
    (Institute of Plasma Physics AS CR, 2007) Pajdarová, Andrea Dagmar; Vlček, Jaroslav; Musil, Jindřich; Kudláček, Pavel; Lukáš, Jan
    Elektronové rozdělovací funkce podle energie a lokální plazmové parametry byly zkoumány v pozici u substrátu (100mm od terče) pomocí časově rozlišené diagnostiky Langmuirovou sondou během vysokovýkonového pulzního dc magnetronového naprašování měděných vrstev. Velmi vysokých hustot plazmatu (až 2.1012cm-3) bylo dosaženo při opakovací frekvenci pulzů napětí fr=1kHz, délce pulzu t1=200μs, tlaku argonu p=1Pa a průměrném proudu v pulzu Ida=50A. Při stejných podmínkách kinetická energie elektronů rostla s rostoucím výkonem během pulzu. Po iniciační fázi byla v intervalu 10500-12500K. Na začátku pulzu byly zaznamenány poklesy plovoucího potenciálu plazmatu.