Vliv tepelného žíhání na vlastnosti tenkých vrstev oxidu měďného dopovaného dusíkem

Show simple item record
dc.contributor.advisorRezek Jiří, Ing. Ph.D.cs
dc.contributor.authorBaštářová, Barboracs
dc.contributor.refereeKozák Tomáš, doc. Ing. Ph.D.cs
dc.date.accepted2025-06-19
dc.date.accessioned2026-02-20T16:13:41Z
dc.date.available2024-09-25
dc.date.available2026-02-20T16:13:41Z
dc.date.issued2025-05-29
dc.date.submitted2025-05-29
dc.description.abstractPředkládaná diplomová práce se zabývá přípravou tenkovrstvých transparentních vodivých oxidů s děrovou vodivostí, specificky oxidů mědi dopovaných dusíkem, pomocí vysokovýkonného pulzního reaktivního magnetronového naprašování (HiPIMS) s následným měřením fázového složení, strukturních, elektrických a optických vlastností. Připravené vrstvy se liší depozičními podmínkami, jako dominantní se uvažuje vliv změny průtoku dusíku během depozice. Vrstvy byly následně vystaveny teplotnímu ohřevu v argonové atmosféře a atmosféře tvořenou směsí inertních plynů (argon a dusík) při teplotách 500 °C, 700 °C a 900 °C. V závislosti na měnícím se průtoku dusíku během depozice a aplikovaného teplotního ohřevu po provedených depozicích se zvolenou atmosférou a teplotou dochází ke změnám strukturních, elektrických a optických vlastností vrstev. Zjištěné hodnoty všech zkoumaných veličin a změny vlastností v závislosti na depozičních parametrech a podepozičním ohřevu jsou srovnány mezi sebou a dalšími pracemi zabývající se transparentními vodivými oxidy na bázi mědi.cs
dc.description.abstract-translatedThe present thesis is concerned with the preparation of thin-film transparent conducting oxides with hole conductivity, specifically nitrogen-doped copper oxides, by high-power pulsed reactive magnetron sputtering (HiPIMS) with subsequent measurement of phase composition, structural, electrical and optical properties. The prepared thin films differ in deposition conditions, with the effect of changing the nitrogen flow rate during deposition being considered as the dominant one. The thin films were subsequently exposed to thermal heating in an argon atmosphere and an atmosphere consisting of a mixture of inert gases (argon and nitrogen) at temperatures of 500 °C, 700 °C a 900 °C. Depending on the varying flow rate of nitrogen during deposition and the applied temperature heating after deposition with the selected atmosphere and temperature, changes in the structural, electrical, and optical properties of the layers occur. The observed values of all the investigated quantities are then compared with each other and with other works dealing with transparent conductive copper-based oxides. These comparisons are made both with respect to the deposition parameters and the sub-depositional heating.en
dc.description.departmentKatedra fyzikycs
dc.description.resultObhájenocs
dc.format71 s.
dc.identifier99763
dc.identifier.urihttp://hdl.handle.net/11025/65962
dc.language.isocs
dc.publisherZápadočeská univerzita v Plznics
dc.rightsPlný text práce je přístupný bez omezenícs
dc.rights.accessopenAccesscs
dc.subjectTransparentní vodivé oxidycs
dc.subjectoxid měďnýcs
dc.subjectdopování pomocí dusíkucs
dc.subjectvysokovýkonné pulzní reaktivní magnetronové naprašovánícs
dc.subjectfázové složenícs
dc.subjectmikrostrukturacs
dc.subjectelektrické vlastnostics
dc.subjectoptické vlastnostics
dc.subject.translatedTransparent conducting oxidesen
dc.subject.translatedcopper oxideen
dc.subject.translatednitrogen dopingen
dc.subject.translatedhigh power pulsed reactive magnetron sputteringen
dc.subject.translatedphase compositionen
dc.subject.translatedmicrostructureen
dc.subject.translatedelectrical propertiesen
dc.subject.translatedoptical propertiesen
dc.thesis.degree-grantorZápadočeská univerzita v Plzni. Fakulta aplikovaných vědcs
dc.thesis.degree-levelNavazujícícs
dc.thesis.degree-nameIng.cs
dc.thesis.degree-programAplikovaná fyzika a fyzikální inženýrstvícs
dc.titleVliv tepelného žíhání na vlastnosti tenkých vrstev oxidu měďného dopovaného dusíkemcs
dc.typediplomová prácecs
local.files.count4*
local.files.size17506213*
local.has.filesyes*
local.relation.IShttps://portal.zcu.cz/StagPortletsJSR168/CleanUrl?urlid=prohlizeni-prace-detail&praceIdno=99763

Files

Original bundle
Showing 1 - 4 out of 4 results
No Thumbnail Available
Name:
DP_Bastarova_A23N0034P.pdf
Size:
16.16 MB
Format:
Adobe Portable Document Format
Description:
VŠKP
Download
No Thumbnail Available
Name:
PV_Bastarova_A23N0034P.pdf
Size:
44.79 KB
Format:
Adobe Portable Document Format
Description:
Posudek vedoucího VŠKP
Download
No Thumbnail Available
Name:
PO_Bastarova_A23N0034P.pdf
Size:
159.17 KB
Format:
Adobe Portable Document Format
Description:
Posudek oponenta VŠKP
Download
No Thumbnail Available
Name:
PB_Bastarova_A23N0034P.pdf
Size:
347.7 KB
Format:
Adobe Portable Document Format
Description:
Průběh obhajoby VŠKP
Download

Collections

Theses (KFY)