Vliv tepelného žíhání na vlastnosti tenkých vrstev oxidu měďného dopovaného dusíkem

Abstract

Předkládaná diplomová práce se zabývá přípravou tenkovrstvých transparentních vodivých oxidů s děrovou vodivostí, specificky oxidů mědi dopovaných dusíkem, pomocí vysokovýkonného pulzního reaktivního magnetronového naprašování (HiPIMS) s následným měřením fázového složení, strukturních, elektrických a optických vlastností. Připravené vrstvy se liší depozičními podmínkami, jako dominantní se uvažuje vliv změny průtoku dusíku během depozice. Vrstvy byly následně vystaveny teplotnímu ohřevu v argonové atmosféře a atmosféře tvořenou směsí inertních plynů (argon a dusík) při teplotách 500 °C, 700 °C a 900 °C. V závislosti na měnícím se průtoku dusíku během depozice a aplikovaného teplotního ohřevu po provedených depozicích se zvolenou atmosférou a teplotou dochází ke změnám strukturních, elektrických a optických vlastností vrstev. Zjištěné hodnoty všech zkoumaných veličin a změny vlastností v závislosti na depozičních parametrech a podepozičním ohřevu jsou srovnány mezi sebou a dalšími pracemi zabývající se transparentními vodivými oxidy na bázi mědi.