Pulzní magnetronová depozice nových nanostrukturních multikomponentních vrstev
Date issued
2013
Authors
Journal Title
Journal ISSN
Volume Title
Publisher
Západočeská univerzita v Plzni
Abstract
Vrstvy Hf-B-C vykazují vysokou tvrdost a nízkou rezistivitu. V důsledku toho jsou zajímavé pro mnoho praktických aplikací. Hlavním cílem této práce bylo zkoumat vliv depozičních parametrů a přidávání přímesí na snížení kompresního pnutí a zachování vysoké tvrdosti vrstev připravených pulzní magnetronovou depozicí. Ukázalo se, že změna depozičního tlaku sice vedla ke snížení pnutí, ale za cenu poklesu tvrdosti. Podobné výsledky jsme dostali i při změně depozičního výkonu. Jedinou efektivní cestou se tedy prokázalo přidávání křemíku do vrstvy, které vedlo ke snížení pnutí při zachování vysoké tvrdosti. Zároveň bylo dosaženo lepší oxidační odolnosti materiálu.
Description
Subject(s)
vrstvy Hf-B-Si-C, pulzní magnetronové naprašování, zbytkové pnutí, tvrdost, oxidační odolnost