Pulzní magnetronová depozice vrstev Hf-Si-B-C-N

Show simple item record
dc.contributor.advisorVlček, Jaroslav
dc.contributor.advisorKohout, Jiří
dc.contributor.authorJandová, Jitka
dc.contributor.refereeKubásek, Milan
dc.date.accepted2014-08-28
dc.date.accessioned2015-03-25T09:28:04Z
dc.date.available2012-05-01cs
dc.date.available2015-03-25T09:28:04Z
dc.date.issued2014
dc.date.submitted2014-07-31
dc.description.abstractPředkládaná diplomová práce se zabývá přípravou multikomponentních tenkých vrstev Hf-Si-B-C a Hf-Si-B-C-N metodou pulzního magnetronového naprašování. Deponované vrstvy jsou následně zkoumány z hlediska prvkového složení a struktury, mechanických, tribologických, elektrických vlastností a oxidačních odolnosti. Cílem práce je především nalezení korelací mezí procesními parametry, prvkovým složením, strukturou a funkčními vlastnostmi materiálu.cs
dc.description.abstract-translatedThis thesis is focused on multicomponent Hf-Si-B-C and Hf-Si-B-C-N thin films preparation by pulsed magnetron sputtering. The elemental composition, structure, mechanical, electrical properties and oxidation resistance of deposited films were subsequently evaluated. The main aim was to find the correlations between process parameters, elemental composition, structure and functional properties of these materials.en
dc.description.departmentKatedra fyzikycs
dc.description.resultObhájenocs
dc.format86 s. (116 168 znaků)cs
dc.format.mimetypeapplication/pdf
dc.identifier54743
dc.identifier.urihttp://hdl.handle.net/11025/12667
dc.language.isocscs
dc.publisherZápadočeská univerzita v Plznics
dc.rightsPlný text práce je přístupný bez omezení.cs
dc.rights.accessopenAccessen
dc.subjectpulzní depozicecs
dc.subjectmagnetronové naprašovánícs
dc.subjecttenké vrstvycs
dc.subjectmultikomponentní systémcs
dc.subjectdiboridy přechodových kovůcs
dc.subjecthafniumcs
dc.subjectHf-Si-B-C-(N)cs
dc.subject.translatedPulsed depositionen
dc.subject.translatedmagnetron sputteringen
dc.subject.translatedthin filmsen
dc.subject.translatedmulticomponent systemen
dc.subject.translateddiborides of transition metalen
dc.subject.translatedhafniumen
dc.subject.translatedHf-Si-B-C-(N)en
dc.thesis.degree-grantorZápadočeská univerzita v Plzni. Fakulta aplikovaných vědcs
dc.thesis.degree-levelNavazujícícs
dc.thesis.degree-nameIng.cs
dc.thesis.degree-programAplikované vědy a informatikacs
dc.titlePulzní magnetronová depozice vrstev Hf-Si-B-C-Ncs
dc.title.alternativePulsed magnetron depozition of Hf-Si-B-C-N thin films and their propertiesen
dc.typediplomová prácecs
local.relation.IShttps://portal.zcu.cz/StagPortletsJSR168/CleanUrl?urlid=prohlizeni-prace-detail&praceIdno=54743

Files

Original bundle
Showing 1 - 4 out of 4 results
No Thumbnail Available
Name:
Jandova_diplomova_prace.pdf
Size:
3.8 MB
Format:
Adobe Portable Document Format
Description:
Plný text práce
Download
No Thumbnail Available
Name:
Jandova_vedouci.pdf
Size:
306.27 KB
Format:
Adobe Portable Document Format
Description:
Posudek vedoucího práce
Download
No Thumbnail Available
Name:
Jandova_oponent.pdf
Size:
532.45 KB
Format:
Adobe Portable Document Format
Description:
Posudek oponenta práce
Download
No Thumbnail Available
Name:
Jandova_otazky.pdf
Size:
206.04 KB
Format:
Adobe Portable Document Format
Description:
Průběh obhajoby práce
Download

Collections

Theses (KFY)