Pulzní magnetronová depozice vrstev Hf-Si-B-C-N

Date issued

2014

Journal Title

Journal ISSN

Volume Title

Publisher

Západočeská univerzita v Plzni

Abstract

Předkládaná diplomová práce se zabývá přípravou multikomponentních tenkých vrstev Hf-Si-B-C a Hf-Si-B-C-N metodou pulzního magnetronového naprašování. Deponované vrstvy jsou následně zkoumány z hlediska prvkového složení a struktury, mechanických, tribologických, elektrických vlastností a oxidačních odolnosti. Cílem práce je především nalezení korelací mezí procesními parametry, prvkovým složením, strukturou a funkčními vlastnostmi materiálu.

Description

Subject(s)

pulzní depozice, magnetronové naprašování, tenké vrstvy, multikomponentní systém, diboridy přechodových kovů, hafnium, Hf-Si-B-C-(N)

Citation

Collections

OPEN License Selector