Pulzní magnetronová depozice vrstev Hf-Si-B-C-N
Date issued
2014
Authors
Journal Title
Journal ISSN
Volume Title
Publisher
Západočeská univerzita v Plzni
Abstract
Předkládaná diplomová práce se zabývá přípravou multikomponentních tenkých vrstev Hf-Si-B-C a Hf-Si-B-C-N metodou pulzního magnetronového naprašování. Deponované vrstvy jsou následně zkoumány z hlediska prvkového složení a struktury, mechanických, tribologických, elektrických vlastností a oxidačních odolnosti. Cílem práce je především nalezení korelací mezí procesními parametry, prvkovým složením, strukturou a funkčními vlastnostmi materiálu.
Description
Subject(s)
pulzní depozice, magnetronové naprašování, tenké vrstvy, multikomponentní systém, diboridy přechodových kovů, hafnium, Hf-Si-B-C-(N)