The influence of positive pulses on HiPIMS deposition of hard DLC coatings

Show simple item record
dc.contributor.authorSantiago, J.A.
dc.contributor.authorFernández-Martínez, I.
dc.contributor.authorKozák, Tomáš
dc.contributor.authorČapek, Jiří
dc.contributor.authorWennberg, A.
dc.contributor.authorMolina-Aldareguia, J.M.
dc.contributor.authorBellido-González, V.
dc.contributor.authorGonzález-Arrabal, R.
dc.contributor.authorMonclús, M.A.
dc.date.accessioned2019-03-04T11:50:36Z
dc.date.available2019-03-04T11:50:36Z
dc.date.issued2019
dc.description.abstractDiamantu podobné uhlíkové vrstvy (DLC) byly připraveny novou metodou HiPIMS zahrnující kladné pulzy na terči po skončení hlavního (záporného) pulzu. Byl zkoumán vliv amplitudy kladných pulzů na výbojové podmínky a mechanické vlastnosti připravených vrstev. Při použití kladných pulzů byla zjištěna zvýšená ionizace argonu i uhlíku. Hmotnostní spektroskopie potvrdila vytváření většího množství vysokoenergetických iontů C+, přičemž střední energie iontů roste s amplitudou kladného pulzu. Bombardování rostoucí vrstvy těmito ionty vede k vyšším hodnotám hustoty DLC vrstev a k vyššímu tlakovému pnutí ve vrstvách.cs
dc.description.abstract-translatedDiamond-like Carbon (DLC) coatings were deposited by a novel HiPIMS method that incorporates positive voltage pulses at the end of the conventional HiPIMS discharge. Different positive voltage amplitudes were used to evaluate the effect of this operation mode on the discharge process and the mechanical properties of the deposited DLC coatings. The application of positive pulses was observed to enhance the ionization of both the sputtered carbon and argon species. Mass spectroscopy measurements showed that a larger amount of high-energy C+ ions are generated, with ion energies proportional to the amplitude of the overshoot voltage. The ion bombardment induced by the positive pulses led to higher compressive residual stresses and densification of deposited DLC coatings.en
dc.format7 s.cs
dc.format.mimetypeapplication/pdf
dc.identifier.citationSANTIAGO, J., FERNÁNDEZ-MARTÍNEZ, I., KOZÁK, T., ČAPEK, J., WENNBERG, A., MOLINA-ALDAREGUIA, J., BELLIDO-GONZÁLEZ, V., GONZÁLEZ-ARRABAL, R., MONCLÚS, M. The influence of positive pulses on HiPIMS deposition of hard DLC coatings. Surface and Coatings Technology, 2019, roč. 358, č. 25 JAN 2019, s. 43-49. ISSN: 0257-8972en
dc.identifier.document-number456762300005
dc.identifier.doi10.1016/j.surfcoat.2018.11.001
dc.identifier.issn0257-8972
dc.identifier.obd43924496
dc.identifier.uri2-s2.0-85056485259
dc.identifier.urihttp://hdl.handle.net/11025/31165
dc.language.isoenen
dc.project.IDLO1506/PUNTIS - Podpora udržitelnosti centra NTIS - Nové technologie pro informační společnostcs
dc.publisherElsevieren
dc.rightsPlný text není přístupný.cs
dc.rights© Elsevieren
dc.rights.accessclosedAccessen
dc.subjectHiPIMScs
dc.subjectDLCcs
dc.subjectTvrdé povlakycs
dc.subjectTribologiecs
dc.subject.translatedHiPIMSen
dc.subject.translatedDiamond-like carbon (DLC)en
dc.subject.translatedHard coatingsen
dc.subject.translatedTribologyen
dc.titleThe influence of positive pulses on HiPIMS deposition of hard DLC coatingsen
dc.title.alternativeVliv kladných pulzů na HiPIMS depozici tvrdých DLC vrstevcs
dc.typečlánekcs
dc.typearticleen
dc.type.statusPeer-revieweden
dc.type.versionpublishedVersionen

Files

Collections

OBD
 Articles (NTIS)