The influence of positive pulses on HiPIMS deposition of hard DLC coatings

Abstract

Diamantu podobné uhlíkové vrstvy (DLC) byly připraveny novou metodou HiPIMS zahrnující kladné pulzy na terči po skončení hlavního (záporného) pulzu. Byl zkoumán vliv amplitudy kladných pulzů na výbojové podmínky a mechanické vlastnosti připravených vrstev. Při použití kladných pulzů byla zjištěna zvýšená ionizace argonu i uhlíku. Hmotnostní spektroskopie potvrdila vytváření většího množství vysokoenergetických iontů C+, přičemž střední energie iontů roste s amplitudou kladného pulzu. Bombardování rostoucí vrstvy těmito ionty vede k vyšším hodnotám hustoty DLC vrstev a k vyššímu tlakovému pnutí ve vrstvách.