Vyšetřování tribologických vlastností tenkých vrstev

Abstract

V této práci byly studovány tribologické vlastnosti tenkých vrstev, konkrétně DLC vrstev dopovaných N2. Hlavním cílem bylo sledovat závislosti těchto vlastností na obsahu N2, zatěžovací síle a relativní vlhkosti prostředí v komoře. Měřenými a vyhodnocovanými parametry byly koeficient tření, otěr tenké vrstvy a otěr protikusu (kuličky). S rostoucím obsahem N2 se koeficient tření nejprve zvyšoval, přičemž maxima dosahoval při podílu 1 % N2, a poté klesal. Podobný trend byl pozorován i u otěru kuličky. Naproti tomu otěr samotné tenké vrstvy s rostoucím obsahem N kontinuálně rostl. Při zvyšování zatížení docházelo nejprve k poklesu koeficientu tření, následovanému opětovným nárůstem. Otěr kuličky i vrstvy naopak nejprve rostl a následně klesal. Relativní vlhkost vzduchu měla rovněž výrazný vliv - koeficient tření s rostoucí vlhkostí nejprve rostl, poté klesal. Otěr vrstvy se při zvyšující se vlhkosti nejprve snižoval a poté zvyšoval, zatímco otěr kuličky se zvyšoval po celou dobu.