Simulace transportu rozprášených atomů v magnetronových výbojích

Show simple item record
dc.contributor.advisorKozák Tomáš, Ing. Ph.D.
dc.contributor.authorBělohoubek, Marek
dc.contributor.refereePajdarová Andrea Dagmar, Mgr. Ph.D.
dc.date.accepted2018-6-21
dc.date.accessioned2019-03-15T10:24:03Z
dc.date.available2017-10-1
dc.date.available2019-03-15T10:24:03Z
dc.date.issued2018
dc.date.submitted2018-5-29
dc.description.abstractTato práce se zabývá simulací transportu neutrálních částic v magnetronových výbojích za nízkých tlaků. Zkoumá procesy v prostoru zadané geometrie a popisuje chování pracovního plynu během rozprašování kovového terče. V práci je shrnuta teorie magnetronového naprašování a numerické metody Direct Simulation Monte Carlo a popsán princip a možnosti použitého programu, který implementuje tuto metodu. Jsou provedeny simulace rozprašování titanu v argonové atmosféře při konstantním i pulzním výbojovém proudu. Je vypočítán celkový tok atomů terčového materiálu na substrát a rozdělovací funkce jejich energie. Diskutován je vliv fyzikálních veličin tlaku pracovního plynu a výbojového proudu a citlivost výsledků na vybraných parametrech numerického modelu.cs
dc.description.abstract-translatedThe main subject of this thesis is a simulation of transport of neutral particles in magnetron discharges at low pressure. It focuses on processes in the specified geometry and describes interaction of argon process gas with the sputtered metal. The theory of magnetron sputtering and of the Direct Simulation Monte Carlo numerical method is described. A computer program implementing this method is used for simulations of sputtering of a titanium target in argon atmosphere by constant and pulsed discharge currents. The total flux of atoms onto a substrate and their energy distribution is calculated. The effect of argon pressure and discharge current, as well as the effect of selected parameters of the numerical model are discussed.en
dc.description.resultObhájenocs
dc.format48 s.cs
dc.format.mimetypeapplication/pdf
dc.identifier76637
dc.identifier.urihttp://hdl.handle.net/11025/32973
dc.language.isocscs
dc.publisherZápadočeská univerzita v Plznics
dc.rightsPlný text práce je přístupný bez omezení.cs
dc.rights.accessopenAccessen
dc.subjectmagnetronové naprašovánícs
dc.subjectmetoda direct simulation monte carlocs
dc.subjecttransport rozprášených atomůcs
dc.subjectzřeďování pracovního plynucs
dc.subject.translatedmagnetron sputteringen
dc.subject.translatedmethod of direct simulation monte carloen
dc.subject.translatedtransportation of sputtered atomsen
dc.subject.translateddilution of the working atmosphereen
dc.thesis.degree-grantorZápadočeská univerzita v Plzni. Fakulta aplikovaných vědcs
dc.thesis.degree-levelBakalářskýcs
dc.thesis.degree-nameBc.cs
dc.thesis.degree-programAplikované vědy a informatikacs
dc.titleSimulace transportu rozprášených atomů v magnetronových výbojíchcs
dc.typebakalářská prácecs
local.relation.IShttps://portal.zcu.cz/StagPortletsJSR168/CleanUrl?urlid=prohlizeni-prace-detail&praceIdno=76637

Files

Original bundle
Showing 1 - 4 out of 4 results
No Thumbnail Available
Name:
BP_Belohoubek.pdf
Size:
6.8 MB
Format:
Adobe Portable Document Format
Description:
Plný text práce
Download
No Thumbnail Available
Name:
Belohoubek_vedouci.pdf
Size:
461.99 KB
Format:
Adobe Portable Document Format
Description:
Posudek vedoucího práce
Download
No Thumbnail Available
Name:
Belohoubek_oponent.pdf
Size:
991.53 KB
Format:
Adobe Portable Document Format
Description:
Posudek oponenta práce
Download
No Thumbnail Available
Name:
Belohoubek_obhajoba.pdf
Size:
223.49 KB
Format:
Adobe Portable Document Format
Description:
Průběh obhajoby práce
Download

Collections

Bachelor´s works (KFY)