Depozice (Ti,Al,V)N vrstev a měření jejich koeficientu tření a mechanických vlastností

Abstract

V rámci této práce byly vytvořeny Ti,Al,V a (Ti,Al,V)N vrstvy, které byly připraveny pomocí magnetronové depozice. Byly zkoumány jejich strukturní, mechanické a tribologické vlastnosti.Bylo zjištěno, že nitridová vrstva má lepší mechanické i tribologické vlastnosti. U vrstvy Ti,Al,V nebylo možné určit tribologické parametry, neboť došlo ihned k otěru až na substrát.

Description

Subject(s)

magnetronové naprašování, Ti, Al, V, N, tribologie

Citation