Time-averaged and time-resolved ion fluxes related to reactive HiPIMS deposition of Ti–Al–N films
Date issued
2021
Journal Title
Journal ISSN
Volume Title
Publisher
Elsevier
Abstract
Práce se zabývá časově průměrovanou i časově rozlišenou analýzou toku ionů v reaktivní HiPIMS depozici pro přípravu tenkých vrstev Ti–Al–N z kompozitních Ti–Al terčů. Hmotnostní spektroskopie odhalila, že zvýšení obsahu Al v terči nebo snížení podílu N2 v reaktivní atmosféře vede k proporčnímu zvýšení podílu Al+ iontů v toku na substrát. Za zkoumaných depozičních podmínek byly připraveny kubické Ti–Al–N vrstvy vykazující vysokou tvrdost až ~36 GPa a zároveň nízké tlakové pnutí.
Description
Subject(s)
HiPIMS, Ti–Al–N, tenká vrstva, hmotnostní spektroskopie, časově rozlišená spektroskopie
Citation
ZAUNER, L. BAHR, A. KOZÁK, T. ČAPEK, J. WOJCIK, T. HUNOLD, O. KOLOZSVÁRI, S. ZEMAN, P. MAYRHOFER, P. RIEDL, H. Time-averaged and time-resolved ion fluxes related to reactive HiPIMS deposition of Ti–Al–N films. Surface and Coatings Technology, 2021, roč. 424, č. 25 OCT 2021, s. "127638-1" - "127638-12. ISSN: 0257-8972