Parametrické modelování pulzního vysokovýkonového magnetronového výboje pro depozici vrstev

Show simple item record
dc.contributor.advisorPajdarová Andrea Dagmar, Mgr. Ph.D.
dc.contributor.authorLerchová, Tereza
dc.contributor.refereeKozák Tomáš, Ing. Ph.D.
dc.date.accepted2017-8-29
dc.date.accessioned2018-01-15T15:09:30Z
dc.date.available2016-10-1
dc.date.available2018-01-15T15:09:30Z
dc.date.issued2017
dc.date.submitted2017-8-22
dc.description.abstractPředkládaná bakalářská práce se v úvodu věnuje problematice plazmatu a plazmových technologií. V další kapitole popisuje současný stav problematiky na poli modelování výbojů plazmatu během depozice tenkých vrstev. Tato kapitola také obsahuje stručný popis dvou výchozích modelů pro tvorbu rozšířeného parametrického modelu. Dále se práce věnuje metodám zpracování, kde jsou uvedeny odvození rovnic použitých v rozšířeném modelu a volba parametrů. Je zde také uvedeno, jak byly předcházející modely doplněny. V poslední kapitole jsou ukázány výsledky rozšířeného modelu pro dva výbojové režimy a tyto výsledky jsou zde také diskutovány. Diskuse se opírá o experimentální data naměřená u nás na katedře, nebo převzatá z odborné literatury.cs
dc.description.abstract-translatedAt the beginning, the presented bachelor's thesis is focused on the plasma medium and plasma technologies. Next, it describes the current state in the field of modelling of plasma discharges during the deposition of thin films. This chapter also contains a brief description of two models used for the creation of an extended parametric model. Furthermore, the work deals with the used methodology, which presents the derivation of the equations used in the extended model, and parameter selection. There is also referred, how the previous models were extended. In the last chapter, there are shown and discussed results of the extended model for two discharge regimes. The discussion is based on the experimental data measured at our department, or taken from the literature. Key words:en
dc.description.resultObhájenocs
dc.format44 s.cs
dc.format.mimetypeapplication/pdf
dc.identifier68824
dc.identifier.urihttp://hdl.handle.net/11025/28564
dc.language.isocscs
dc.publisherZápadočeská univerzita v Plznics
dc.rightsPlný text práce je přístupný bez omezení.cs
dc.rights.accessopenAccessen
dc.subjectplazmacs
dc.subjecthipimscs
dc.subjectvysokovýkonové pulzní magnetronové naprašovánícs
dc.subjectdepozice tenkých vrstevcs
dc.subjectmodelovánícs
dc.subjectsimulacecs
dc.subjectrozprašování kovůcs
dc.subjectparametrický modelcs
dc.subject.translatedplasmaen
dc.subject.translatedhipimsen
dc.subject.translatedhigh power impulse magnetron sputteringen
dc.subject.translateddeposition of thin filmsen
dc.subject.translatedmodellingen
dc.subject.translatedsimulationen
dc.subject.translatedsputtering of metalsen
dc.subject.translatedparametric modelen
dc.thesis.degree-grantorZápadočeská univerzita v Plzni. Fakulta aplikovaných vědcs
dc.thesis.degree-levelBakalářskýcs
dc.thesis.degree-nameBc.cs
dc.thesis.degree-programAplikované vědy a informatikacs
dc.titleParametrické modelování pulzního vysokovýkonového magnetronového výboje pro depozici vrstevcs
dc.typebakalářská prácecs
local.relation.IShttps://portal.zcu.cz/StagPortletsJSR168/CleanUrl?urlid=prohlizeni-prace-detail&praceIdno=68824

Files

Original bundle
Showing 1 - 4 out of 4 results
No Thumbnail Available
Name:
BP_T.Lerchova.pdf
Size:
1.73 MB
Format:
Adobe Portable Document Format
Description:
Plný text práce
Download
No Thumbnail Available
Name:
Lerchova_oponent.pdf
Size:
2 MB
Format:
Adobe Portable Document Format
Description:
Posudek oponenta práce
Download
No Thumbnail Available
Name:
Lerchova_vedouci.pdf
Size:
877.76 KB
Format:
Adobe Portable Document Format
Description:
Posudek vedoucího práce
Download
No Thumbnail Available
Name:
Lerchova_otazky.pdf
Size:
219.33 KB
Format:
Adobe Portable Document Format
Description:
Průběh obhajoby práce
Download

Collections

Bachelor´s works (KFY)