Parametrické modelování pulzního vysokovýkonového magnetronového výboje pro depozici vrstev

Date issued

2017

Journal Title

Journal ISSN

Volume Title

Publisher

Západočeská univerzita v Plzni

Abstract

Předkládaná bakalářská práce se v úvodu věnuje problematice plazmatu a plazmových technologií. V další kapitole popisuje současný stav problematiky na poli modelování výbojů plazmatu během depozice tenkých vrstev. Tato kapitola také obsahuje stručný popis dvou výchozích modelů pro tvorbu rozšířeného parametrického modelu. Dále se práce věnuje metodám zpracování, kde jsou uvedeny odvození rovnic použitých v rozšířeném modelu a volba parametrů. Je zde také uvedeno, jak byly předcházející modely doplněny. V poslední kapitole jsou ukázány výsledky rozšířeného modelu pro dva výbojové režimy a tyto výsledky jsou zde také diskutovány. Diskuse se opírá o experimentální data naměřená u nás na katedře, nebo převzatá z odborné literatury.

Description

Subject(s)

plazma, hipims, vysokovýkonové pulzní magnetronové naprašování, depozice tenkých vrstev, modelování, simulace, rozprašování kovů, parametrický model

Citation

OPEN License Selector