Flexible hard (Zr, Si) alloy films prepared by magnetron sputtering

Abstract

Článek pojednává o vyšetřování mechanických vlastností (Zr, Si) slitinových vrstev s vysokým obsahem Si připravených magnetronovým naprašováním. Hlavním cílem zkoumání bylo vyvinout ohebné tvrdé (Zr, Si) slitinové vrstvy se zvýšenou odolnosti proti vzniku trhlin. (Zr, Si) vrstvy byly připraveny pomocí pulzního duálního magnetronového výboje. Mechanické vlastnosti a prvkové složení (Zr, Si) vrstev byly řízeny záporným předpětím na substrátu, tedy energií dodanou do rostoucí vrstvy dopadajícími ionty. Bylo zjištěno, že pulzní duální magnetronový výboj umožňuje přípravu ohebných tvrdých (Zr, Si) slitinových vrstev s vysokou hodnotou tvrdosti H ≈ 20 GPa, poměrem H/E* > 0,1, elastickou vratností We > 60 %, kompresním pnutím a hustou mikrostrukturou bez pórů. Tyto slitinové vrstvy obsahují stejné množství Zr a Si v at. % a vykazují zvýšenou odolnost proti vzniku trhlin.