Elektrické a optické vlastnosti tenkých transparentních vodivých vrstev

dc.contributor.advisorNovák, Petr
dc.contributor.advisorPrušáková, Lucie
dc.contributor.authorŠejhlová, Růžena
dc.contributor.refereeRezek, Jiří
dc.date.accepted2014-06-06
dc.date.accessioned2015-03-25T09:25:20Z
dc.date.available2013-10-14cs
dc.date.available2015-03-25T09:25:20Z
dc.date.issued2014
dc.date.submitted2014-05-12
dc.description.abstractTato diplomová práce se zabývá studiem elektrických, optických a strukturních vlastností tenkých transparentních vodivých vrstev. Jako vhodný materiál pro tuto práci byl zvolen hliníkem dopovaný oxid zinečnatý. Zkoumané vrstvy byly vytvořeny metodou magnetronového RF naprašování. V úvodu této práce je provedeno shrnutí teoretických poznatků, týkající se transparentních vodivých oxidů a metod přípravy tenkých vrstev. V následující části jsou podrobně popsány všechny využité analytické metody. Závěrečná část je zaměřena na výsledky získané podrobnou analýzou vytvořených vzorků, dále je zde zmíněna souvislost mezi optickými, elektrickými a strukturními vlastnostmi deponovaných vrstev.cs
dc.description.abstract-translatedThe purpose of this Diploma's Thesis is to study the electrical, optical and structural properties of thin transparent conductive oxides. The proper material chosen for this thesis was the aluminum doped zinc oxide. Thin films were prepared by magnetron RF sputtering. The first part of the thesis deals with summary of theoretical knowledge about chosen material and methods used for deposition of thin films. The following part focuses on methods used for analysis of prepared thin films. Finally, the thesis summarized results achieved by chosen measurements and gives a connection between optical, electrical and structural properties of deposited thin films.en
dc.description.departmentKatedra technologií a měřenícs
dc.description.resultObhájenocs
dc.format73 s.cs
dc.format.mimetypeapplication/pdf
dc.identifier58604
dc.identifier.urihttp://hdl.handle.net/11025/12365
dc.language.isocscs
dc.publisherZápadočeská univerzita v Plznics
dc.rightsPlný text práce je přístupný bez omezení.cs
dc.rights.accessopenAccessen
dc.subjecttransparentní vodivé oxidycs
dc.subjecttenké vrstvy ZnO:Alcs
dc.subjectoptické vlastnostics
dc.subjectelektrické vlastnostics
dc.subjectstrukturní vlastnostics
dc.subjectmagnetronové naprašovánícs
dc.subject.translatedtransparent conductive oxidesen
dc.subject.translatedZnO:Al thin filmsen
dc.subject.translatedoptical propertiesen
dc.subject.translatedelectrical propertiesen
dc.subject.translatedstructural propertiesen
dc.subject.translatedmagnetron sputteringen
dc.thesis.degree-grantorZápadočeská univerzita v Plzni. Fakulta elektrotechnickács
dc.thesis.degree-levelNavazujícícs
dc.thesis.degree-nameIng.cs
dc.thesis.degree-programElektrotechnika a informatikacs
dc.titleElektrické a optické vlastnosti tenkých transparentních vodivých vrstevcs
dc.title.alternativeElectrical and optical properties of transparent conducting thin filmsen
dc.typediplomová prácecs
local.relation.IShttps://portal.zcu.cz/StagPortletsJSR168/CleanUrl?urlid=prohlizeni-prace-detail&praceIdno=58604

Files

Original bundle
Showing 1 - 4 out of 4 results
No Thumbnail Available
Name:
Sejhlova_DP_final.pdf
Size:
8.85 MB
Format:
Adobe Portable Document Format
Description:
Plný text práce
No Thumbnail Available
Name:
058604_vedouci.pdf
Size:
342.51 KB
Format:
Adobe Portable Document Format
Description:
Posudek vedoucího práce
No Thumbnail Available
Name:
058604_oponent.pdf
Size:
521.03 KB
Format:
Adobe Portable Document Format
Description:
Posudek oponenta práce
No Thumbnail Available
Name:
058604_hodnoceni.pdf
Size:
183.25 KB
Format:
Adobe Portable Document Format
Description:
Průběh obhajoby práce

Collections