Elektrické a optické vlastnosti tenkých transparentních vodivých vrstev
Date issued
2014
Authors
Journal Title
Journal ISSN
Volume Title
Publisher
Západočeská univerzita v Plzni
Abstract
Tato diplomová práce se zabývá studiem elektrických, optických a strukturních vlastností tenkých transparentních vodivých vrstev. Jako vhodný materiál pro tuto práci byl zvolen hliníkem dopovaný oxid zinečnatý. Zkoumané vrstvy byly vytvořeny metodou magnetronového RF naprašování. V úvodu této práce je provedeno shrnutí teoretických poznatků, týkající se transparentních vodivých oxidů a metod přípravy tenkých vrstev. V následující části jsou podrobně popsány všechny využité analytické metody. Závěrečná část je zaměřena na výsledky získané podrobnou analýzou vytvořených vzorků, dále je zde zmíněna souvislost mezi optickými, elektrickými a strukturními vlastnostmi deponovaných vrstev.
Description
Subject(s)
transparentní vodivé oxidy, tenké vrstvy ZnO:Al, optické vlastnosti, elektrické vlastnosti, strukturní vlastnosti, magnetronové naprašování