Reaktivní depozice vrstev pomocí vysokovýkonového pulzního magnetronového zdroje
| dc.contributor.advisor | Vlček, Jaroslav | |
| dc.contributor.author | Kolenatý, David | |
| dc.contributor.referee | Rusňák, Karel | |
| dc.date.accepted | 2012-06-27 | |
| dc.date.accessioned | 2013-06-19T06:55:56Z | |
| dc.date.available | 2011-05-01 | cs |
| dc.date.available | 2013-06-19T06:55:56Z | |
| dc.date.issued | 2012 | |
| dc.date.submitted | 2012-05-29 | |
| dc.description.abstract | Tato bakalářská práce je zaměřena na reaktivní depozici vrstev pomocí vysokovýkonového pulzního magnetronového zdroje HiPIMS. Vrstvy byly připravovány v atmosféře argonu a kyslíku za konstantního celkového tlaku 2 Pa. Zirkoniový terč o průměru 100 mm s aplikovaným tantalovým kroužkem, zasahujícím do erozivní zóny terče, byl zatěžován konstantní výkonovou hustotou v periodě 15 W/cm2. Opakovací frekvence pulzů byla 500 Hz a střída 2,5% a 10%. Proměnnými parametry depozičního procesu byla délka pulzu 50 a 200 mikrosekund a šířka tantalového kroužku 0;2;3;5;7;10;20 mm. U takto připravených vrstev bylo provedeno měření depoziční rychlosti, tvrdosti a vnitřního pnutí, analýza fázového složení RTG difrakcí, elipsometrické měření extinkčního koeficientu a indexu lomu. | cs |
| dc.description.abstract-translated | This thesis is aimed at reactive High-Power Impulsed Magnetron Sputtering (HiPIMS). Thin films were prepared in oxygen and argon atmosphere, at working pressure 2 Pa. A zirconium target of 100 mm in diameter with applied tantalum ring to erosion area was loaded by average power density in period 15 W/cm2. Repetition frequency of pulse was 500 Hz and pulse duration (duty cycle) was 2,5% and 10%. Variable parameters of deposition were pulse length 50 a 200 microsecond and width of tantalum ring 0;2;3;5;7;10;20 mm. At films created in this way were measured deposition rate, microhardness, stress, structure, extinction coefficient and refractive index. | en |
| dc.description.department | Katedra fyziky | cs |
| dc.description.result | Obhájeno | cs |
| dc.format | 48 s. | cs |
| dc.format.mimetype | application/pdf | |
| dc.identifier | 49912 | |
| dc.identifier.uri | http://hdl.handle.net/11025/3716 | |
| dc.language.iso | cs | cs |
| dc.publisher | Západočeská univerzita v Plzni | cs |
| dc.rights | Plný text práce je přístupný bez omezení. | cs |
| dc.rights.access | openAccess | en |
| dc.subject | reaktivní magnetronové naprašování | cs |
| dc.subject | HiPIMS | cs |
| dc.subject | tenké vrstvy oxidů zirkonu a tantalu | cs |
| dc.subject.translated | reactive High-Power Impulsed Magnetron Sputtering (HiPIMS) | en |
| dc.subject.translated | thin oxide films of zirconia and tantalum | en |
| dc.thesis.degree-grantor | Západočeská univerzita v Plzni. Fakulta aplikovaných věd | cs |
| dc.thesis.degree-level | Bakalářský | cs |
| dc.thesis.degree-name | Bc. | cs |
| dc.thesis.degree-program | Aplikované vědy a informatika | cs |
| dc.title | Reaktivní depozice vrstev pomocí vysokovýkonového pulzního magnetronového zdroje | cs |
| dc.title.alternative | Reactive High-Power Impulsed Magnetron Sputtering | en |
| dc.type | bakalářská práce | cs |
| local.relation.IS | https://portal.zcu.cz/StagPortletsJSR168/CleanUrl?urlid=prohlizeni-prace-detail&praceIdno=49912 |
Files
Original bundle
1 - 4 out of 4 results
No Thumbnail Available
- Name:
- Kolenaty David - Reaktivni depozice vrstev pomoci vysokovykonoveho pulzniho magnetronoveho zdroje.pdf
- Size:
- 1.48 MB
- Format:
- Adobe Portable Document Format
- Description:
- Plný text práce
No Thumbnail Available
- Name:
- Kolenaty_vedouci.pdf
- Size:
- 300.68 KB
- Format:
- Adobe Portable Document Format
- Description:
- Posudek vedoucího práce
No Thumbnail Available
- Name:
- Kolenaty_oponent.pdf
- Size:
- 520.33 KB
- Format:
- Adobe Portable Document Format
- Description:
- Posudek oponenta práce
No Thumbnail Available
- Name:
- Kolenaty_otazky.pdf
- Size:
- 200.06 KB
- Format:
- Adobe Portable Document Format
- Description:
- Průběh obhajoby práce