Reaktivní vysokovýkonová pulzní magnetronová depozice vrstev HfO2
dc.contributor.author | Kolenatý, David | |
dc.contributor.editor | Lukeš, Vladimír | |
dc.date.accessioned | 2016-05-24T08:26:14Z | |
dc.date.available | 2016-05-24T08:26:14Z | |
dc.date.issued | 2014 | |
dc.format | 2 s. | cs |
dc.format.mimetype | application/pdf | |
dc.identifier.citation | LUKEŠ, Vladimír ed. Studentská vědecká konference: magisterské a doktorské programy, sborník rozšířených abstraktů, květen 2014, Plzeň. Plzeň: Západočeská univerzita v Plzni, 2014, s. [19-20]. ISBN 978-80-261-0365-3. | cs |
dc.identifier.isbn | 978-80-261-0365-3 | |
dc.identifier.uri | http://svk.fav.zcu.cz/download/sbornik_svk_2014.pdf | |
dc.identifier.uri | http://hdl.handle.net/11025/21255 | |
dc.language.iso | cs | cs |
dc.publisher | Západočeská univerzita v Plzni | cs |
dc.rights | © Západočeská univerzita v Plzni | cs |
dc.rights.access | openAccess | en |
dc.subject | plazmová technologie | cs |
dc.subject | HfO2 | cs |
dc.subject | magnetronová depozice | cs |
dc.subject.translated | plasma technology | en |
dc.subject.translated | HfO2 | en |
dc.subject.translated | magnetron deposition | en |
dc.title | Reaktivní vysokovýkonová pulzní magnetronová depozice vrstev HfO2 | cs |
dc.type | konferenční příspěvek | cs |
dc.type | conferenceObject | en |
dc.type.status | Peer-reviewed | en |
dc.type.version | publishedVersion | en |
Files
Original bundle
1 - 1 out of 1 results
No Thumbnail Available
- Name:
- Kolenaty.pdf
- Size:
- 555.87 KB
- Format:
- Adobe Portable Document Format
- Description:
- Plný text
License bundle
1 - 1 out of 1 results
No Thumbnail Available
- Name:
- license.txt
- Size:
- 1.71 KB
- Format:
- Item-specific license agreed upon to submission
- Description: