Reaktivní vysokovýkonová pulzní magnetronová depozice vrstev HfO2

dc.contributor.authorKolenatý, David
dc.contributor.editorLukeš, Vladimír
dc.date.accessioned2016-05-24T08:26:14Z
dc.date.available2016-05-24T08:26:14Z
dc.date.issued2014
dc.format2 s.cs
dc.format.mimetypeapplication/pdf
dc.identifier.citationLUKEŠ, Vladimír ed. Studentská vědecká konference: magisterské a doktorské programy, sborník rozšířených abstraktů, květen 2014, Plzeň. Plzeň: Západočeská univerzita v Plzni, 2014, s. [19-20]. ISBN 978-80-261-0365-3.cs
dc.identifier.isbn978-80-261-0365-3
dc.identifier.urihttp://svk.fav.zcu.cz/download/sbornik_svk_2014.pdf
dc.identifier.urihttp://hdl.handle.net/11025/21255
dc.language.isocscs
dc.publisherZápadočeská univerzita v Plznics
dc.rights© Západočeská univerzita v Plznics
dc.rights.accessopenAccessen
dc.subjectplazmová technologiecs
dc.subjectHfO2cs
dc.subjectmagnetronová depozicecs
dc.subject.translatedplasma technologyen
dc.subject.translatedHfO2en
dc.subject.translatedmagnetron depositionen
dc.titleReaktivní vysokovýkonová pulzní magnetronová depozice vrstev HfO2cs
dc.typekonferenční příspěvekcs
dc.typeconferenceObjecten
dc.type.statusPeer-revieweden
dc.type.versionpublishedVersionen

Files

Original bundle
Showing 1 - 1 out of 1 results
No Thumbnail Available
Name:
Kolenaty.pdf
Size:
555.87 KB
Format:
Adobe Portable Document Format
Description:
Plný text
License bundle
Showing 1 - 1 out of 1 results
No Thumbnail Available
Name:
license.txt
Size:
1.71 KB
Format:
Item-specific license agreed upon to submission
Description: