Reaktivní vysokovýkonová pulzní magnetronová depozice vrstev HfO2
Date issued
2014
Authors
Journal Title
Journal ISSN
Volume Title
Publisher
Západočeská univerzita v Plzni
Abstract
Description
Subject(s)
plazmová technologie, HfO2, magnetronová depozice
Citation
LUKEŠ, Vladimír ed. Studentská vědecká konference: magisterské a doktorské programy, sborník rozšířených abstraktů, květen 2014, Plzeň. Plzeň: Západočeská univerzita v Plzni, 2014, s. [19-20]. ISBN 978-80-261-0365-3.