Identifikace elektrických vlastností podle tloušťky v vrstvě oxidu zinečnatého dopovaného hliníkem naprašovaného při 100 ° C

Abstract

Práce představuje detailní studii tenkých vrstev z oxidu zinečnatého dopovaných hliníkem, rozprašovaných při 100 ° C, se zaměřením na korelace mezi strukturálními a elektrickými vlastnostmi. Strukturní vlastnosti jsou identifikovány SEM mikroskopií a rentgenovou difrakcí, zatímco elektrické vlastnosti jsou popsány pomocí koncentrace n8boje a jeho pohyblivosti. Studie se skládá ze souboru tenkých vrstev s tloušťky od ~ 16 do ~ 1120 nm. Naše analýza ukazuje, že elektrické vlastnosti ve jednotlivých tloušťkách se postupně mění se svou vzdáleností od podkladu, což velmi dobře koreluje se změnami pozorované ve strukturálních vlastnostech. Spolu s našimi experimentálními nálezy jsme navrhli jednorozměrný matematický model, který nabízí hloubší vhled do vztahu mezi strukturou filmu a rezistivitou filmu a umožňuje identifikaci dalších materiálových charakteristik.