Tenkovrstvé procesy v elektronice

dc.contributor.advisorŘeboun, Jan
dc.contributor.authorFejt, Martin
dc.contributor.refereeŠtulík, Jiří
dc.date.accepted2012-06-26
dc.date.accessioned2013-06-19T06:37:13Z
dc.date.available2010-10-18cs
dc.date.available2013-06-19T06:37:13Z
dc.date.issued2012
dc.date.submitted2012-06-07
dc.description.abstractBakalářská práce je zaměřena na tenkovrstvé procesy v elektrotechnice. Jedná se o velice důležitou a rozšířenou oblast, která zasahuje velké spektrum aplikací, od výroby samostatných součástek až po integrované obvody. V práci jsou popsány postupy pro vytváření tenkých vrstev včetně zařízení k tomu potřebných, jako jsou vývěvy, vakuoměry a další. V poslední části práce jsou popsány výsledky experimentu provedeného za účelem bližšího pochopení problematiky a ověření předpokladů.cs
dc.description.abstract-translatedThe bachelor thesis is focused on thin-film processes in electronics. This filed of electronics is very important and widely applied. Such as manufacturing electric components or integrated circuits. Necessary devices like vacuum pumps, vacuum gauges and etc. are described including procedures of depositing thin layers. The results of experiment made for betted understanding and validation of expected hypothesis is located in the last part of my thesis.en
dc.description.departmentKatedra aplikované elektroniky a telekomunikacícs
dc.description.resultObhájenocs
dc.format35 s.cs
dc.format.mimetypeapplication/pdf
dc.identifier40640
dc.identifier.urihttp://hdl.handle.net/11025/4003
dc.language.isocscs
dc.publisherZápadočeská univerzita v Plznics
dc.rightsPlný text práce je přístupný bez omezení.cs
dc.rights.accessopenAccessen
dc.subjecttenké vrstvycs
dc.subjectdepozicecs
dc.subjectnapařovánícs
dc.subjectnaprašovánícs
dc.subjectvývěvycs
dc.subjectsubstrátycs
dc.subjectuhlíkcs
dc.subjecthliníkcs
dc.subjectzlatocs
dc.subjectargoncs
dc.subjectmagnetroncs
dc.subject.translatedthin layersen
dc.subject.translateddepositionen
dc.subject.translatedevaporationen
dc.subject.translatedshutteringen
dc.subject.translatedvacuum pumpen
dc.subject.translatedsubstrateen
dc.subject.translatedcarbonen
dc.subject.translatedaluminumen
dc.subject.translatedgolden
dc.subject.translatedargonen
dc.subject.translatedmagnetronen
dc.thesis.degree-grantorZápadočeská univerzita v Plzni. Fakulta elektrotechnickács
dc.thesis.degree-levelBakalářskýcs
dc.thesis.degree-nameBc.cs
dc.thesis.degree-programElektrotechnika a informatikacs
dc.titleTenkovrstvé procesy v elektronicecs
dc.title.alternativeThin-film processes in electronicsen
dc.typebakalářská prácecs
local.relation.IShttps://portal.zcu.cz/StagPortletsJSR168/CleanUrl?urlid=prohlizeni-prace-detail&praceIdno=40640

Files

Original bundle
Showing 1 - 4 out of 4 results
No Thumbnail Available
Name:
BP - Martin Fejt.pdf
Size:
1.8 MB
Format:
Adobe Portable Document Format
Description:
Plný text práce
No Thumbnail Available
Name:
040640_vedouci.pdf
Size:
310.92 KB
Format:
Adobe Portable Document Format
Description:
Posudek vedoucího práce
No Thumbnail Available
Name:
040640_oponent.pdf
Size:
310.56 KB
Format:
Adobe Portable Document Format
Description:
Posudek oponenta práce
No Thumbnail Available
Name:
040640_hodnoceni.pdf
Size:
123.81 KB
Format:
Adobe Portable Document Format
Description:
Průběh obhajoby práce