Tenkovrstvé procesy v elektronice
Date issued
2012
Authors
Journal Title
Journal ISSN
Volume Title
Publisher
Západočeská univerzita v Plzni
Abstract
Bakalářská práce je zaměřena na tenkovrstvé procesy v elektrotechnice. Jedná se o velice důležitou a rozšířenou oblast, která zasahuje velké spektrum aplikací, od výroby samostatných součástek až po integrované obvody. V práci jsou popsány postupy pro vytváření tenkých vrstev včetně zařízení k tomu potřebných, jako jsou vývěvy, vakuoměry a další. V poslední části práce jsou popsány výsledky experimentu provedeného za účelem bližšího pochopení problematiky a ověření předpokladů.
Description
Subject(s)
tenké vrstvy, depozice, napařování, naprašování, vývěvy, substráty, uhlík, hliník, zlato, argon, magnetron