Interrelationships among macrostress, microstructure and mechanical behavior of sputtered hard Ti(Al,V)N films
Date issued
2019
Journal Title
Journal ISSN
Volume Title
Publisher
Elsevier
Abstract
Článek pojednává o vlivu kompresního pnutí ve vrstvách Ti(Al,V)N na jejich mechanické vlastnosti, strukturu, mikrostrukturu a odolnost vůči vzniku trhlin. Pnutí je kontrolováno energií Ebi dodanou do rostoucí vrstvy bombardujícími ionty. Ti(Al,V)N vrstvy byly naprašovány duálním magnetronem s uzavřeným magnetickým polem. Je ukázáno, že (1) kompresní pnutí zvyšuje tvrdost H vrstvy a poměr H/E*, (2) vrstvy vykazují hustou nekolumnární strukturu bez pórů, pokud energie Ebi ≥ 3 MJ/cm^3, (3) zvýšená odolnost vůči vzniku trhlin je řízena mechanickými vlastnostmi, mikrostrukturou a pnutím.
Description
Subject(s)
Ti(Al,V)N vrstvy, tvrdost, pnutí, energie, mikrostruktura, struktura, mechanické vlastnost, odolnost vůči vzniku trhlin
Citation
JAROŠ, M., MUSIL, J., HAVIAR, S. Interrelationships among macrostress, microstructure and mechanical behavior of sputtered hard Ti(Al,V)N films. MATERIALS LETTERS, 2019, roč. 235, č. 15 JAN 2019, s. 92-96. ISSN: 0167-577X