Vysokorychlostní naprašování vrstev SiZrO
| dc.contributor.advisor | Musil, Jindřich | |
| dc.contributor.author | Vonásek, Martin | |
| dc.contributor.referee | Kos, Šimon | |
| dc.date.accepted | 2012-06-27 | |
| dc.date.accessioned | 2013-06-19T06:55:57Z | |
| dc.date.available | 2011-05-01 | cs |
| dc.date.available | 2013-06-19T06:55:57Z | |
| dc.date.issued | 2012 | |
| dc.date.submitted | 2012-05-29 | |
| dc.description.abstract | Tato bakalářská práce je věnována problematice AC pulzního reaktivního magnetronového naprašování vrstev Zr-Si-O za využití duálního magnetronu, který pracuje v uzavřené konfiguraci magnetického pole. Byl zkoumán vliv parciálního tlaku reaktivního plynu - kyslíku na depoziční rychlost, mechanické vlastnosti, strukturu a prvkové složení. | cs |
| dc.description.abstract-translated | This thesis is dedicated to the reactive magnetron sputtering Zr-Si-O films using ac pulse dual magnetron that operates in close magnetic field configuration. The partial pressures of reactive gas - oxygen on deposition rate, mechanical properties, structure and elemental composition of the obtained films have been investigated. | en |
| dc.description.department | Katedra fyziky | cs |
| dc.description.result | Obhájeno | cs |
| dc.format | 38 s. (41 000 znaků) | cs |
| dc.format.mimetype | application/pdf | |
| dc.identifier | 49970 | |
| dc.identifier.uri | http://hdl.handle.net/11025/3717 | |
| dc.language.iso | cs | cs |
| dc.publisher | Západočeská univerzita v Plzni | cs |
| dc.relation.isreferencedby | https://portal.zcu.cz/StagPortletsJSR168/CleanUrl?urlid=prohlizeni-prace-detail&praceIdno=49970 | |
| dc.rights | Plný text práce je přístupný bez omezení. | cs |
| dc.rights.access | openAccess | en |
| dc.subject | Zr-Si-O | cs |
| dc.subject | tenké vrstvy | cs |
| dc.subject | mechanické vlastnosti | cs |
| dc.subject | reaktivní magnetronové naprašování | cs |
| dc.subject.translated | Zr-Si-O | en |
| dc.subject.translated | thin films | en |
| dc.subject.translated | mechanical properties | en |
| dc.subject.translated | reactive magnetron sputtering | en |
| dc.thesis.degree-grantor | Západočeská univerzita v Plzni. Fakulta aplikovaných věd | cs |
| dc.thesis.degree-level | Bakalářský | cs |
| dc.thesis.degree-name | Bc. | cs |
| dc.thesis.degree-program | Aplikované vědy a informatika | cs |
| dc.title | Vysokorychlostní naprašování vrstev SiZrO | cs |
| dc.title.alternative | High-rate sputtering of Si-Zr-O films | en |
| dc.type | bakalářská práce | cs |
Files
Original bundle
1 - 4 out of 4 results
No Thumbnail Available
- Name:
- Bakalarska prace - Martin Vonasek.pdf
- Size:
- 1.34 MB
- Format:
- Adobe Portable Document Format
- Description:
- Plný text práce
No Thumbnail Available
- Name:
- Vonasek_vedouci.pdf
- Size:
- 348.76 KB
- Format:
- Adobe Portable Document Format
- Description:
- Posudek vedoucího práce
No Thumbnail Available
- Name:
- Vonasek_oponent.pdf
- Size:
- 1.54 MB
- Format:
- Adobe Portable Document Format
- Description:
- Posudek oponenta práce
No Thumbnail Available
- Name:
- Vonasek_otazky.pdf
- Size:
- 192.83 KB
- Format:
- Adobe Portable Document Format
- Description:
- Průběh obhajoby práce