Počítačové modelování pulzního vysokovýkonového magnetronového výboje pro depozici vrstev

Show simple item record
dc.contributor.advisorPajdarová Andrea Dagmar, Mgr. Ph.D.
dc.contributor.authorTeřl, Vít
dc.contributor.refereeKozák Tomáš, Ing. Ph.D.
dc.date.accepted2019-6-25
dc.date.accessioned2020-07-17T13:42:18Z
dc.date.available2018-10-1
dc.date.available2020-07-17T13:42:18Z
dc.date.issued2019
dc.date.submitted2019-5-24
dc.description.abstractPředložená bakalářská práce se zaměřuje na studium ionizace atomů sekundárními elektrony v objemu plazmatu pulzního vysokovýkonového magnetronového výboje pro depozici vrstev. Na tento úkol byl vytvořen počítačový model. V první části je stručně popsán princip a vývoj pulzního vysokovýkonového magnetronového naprašování a způsoby počítačového modelování plazmatu. Ve druhé části je vytvořen počítačový program implementující metodu Leapfrog a Borisovu metodu na výpočet pohybu elektronů ve výboji a Monte Carlo kolizní metodu na výpočet ionizačních srážek. Pomocí tohoto modelu jsou provedeny simulace na sledování objemové hustoty ionizace atomů pracovního plynu a rozprášeného kovu sekundárními elektrony pro různé výbojové proudy. Výsledné objemové hustoty ionizace atomů dané simulacemi jsou řádně prodiskutovány.cs
dc.description.abstract-translatedThe presented thesis is focused on the ionization of different atoms by secondary electrons in high power impulse magnetron sputtering used for thin film deposition. A computer model was developed for this task. In the first part, the principles and development of high power impulse magnetron sputtering and plasma computer simulations techniques are presented. In the second part there are described methods implemented by the developed computer program, mainly Leapfrog method and Boris method for movement of electrons in discharge and Monte Carlo collision method for collision calculations. Simulations are performed to obtain ionization volume density of working gas atoms and sputtered metal atoms. Simulations are obtained by the computer program and are differentiated by different discharge current. Resulting ionization volume density given by simulations are discussed.en
dc.description.resultObhájenocs
dc.format40 s.cs
dc.format.mimetypeapplication/pdf
dc.identifier76639
dc.identifier.urihttp://hdl.handle.net/11025/37535
dc.language.isocscs
dc.publisherZápadočeská univerzita v Plznics
dc.rightsPlný text práce je přístupný bez omezení.cs
dc.rights.accessopenAccessen
dc.subjectmagnetronové naprašovánícs
dc.subjectmonte carlo kolizní metodacs
dc.subjecttransport sekundárních elektronůcs
dc.subjectmodelovánícs
dc.subjectionizacecs
dc.subject.translatedmagnetron sputteringen
dc.subject.translatedmonte carlo collision methoden
dc.subject.translatedtransport of secondary electronsen
dc.subject.translatedmodelingen
dc.subject.translatedionizationen
dc.thesis.degree-grantorZápadočeská univerzita v Plzni. Fakulta aplikovaných vědcs
dc.thesis.degree-levelBakalářskýcs
dc.thesis.degree-nameBc.cs
dc.thesis.degree-programAplikované vědy a informatikacs
dc.titlePočítačové modelování pulzního vysokovýkonového magnetronového výboje pro depozici vrstevcs
dc.typebakalářská prácecs
local.relation.IShttps://portal.zcu.cz/StagPortletsJSR168/CleanUrl?urlid=prohlizeni-prace-detail&praceIdno=76639

Files

Original bundle
Showing 1 - 4 out of 4 results
No Thumbnail Available
Name:
BP_terl.pdf
Size:
2.75 MB
Format:
Adobe Portable Document Format
Description:
Plný text práce
Download
No Thumbnail Available
Name:
Terl_vedouciBP.pdf
Size:
449.54 KB
Format:
Adobe Portable Document Format
Description:
Posudek vedoucího práce
Download
No Thumbnail Available
Name:
Terl_oponentBP.pdf
Size:
2.22 MB
Format:
Adobe Portable Document Format
Description:
Posudek oponenta práce
Download
No Thumbnail Available
Name:
Terl_obhajoba.pdf
Size:
185.52 KB
Format:
Adobe Portable Document Format
Description:
Průběh obhajoby práce
Download

Collections

Bachelor´s works (KFY)