Substrate Preparation for Manufacturing of Aluminum Nitride Layers
Date issued
2013
Authors
Journal Title
Journal ISSN
Volume Title
Publisher
Západočeská univerzita v Plzni, Fakulta elektrotechnická
Abstract
Description
Subject(s)
tenké vrstvy, depozice, nitridy hliníku, suché leptání, zkoušení materiálu
Citation
Electroscope. 2013, č. 5, EEICT + EDS.