Substrate Preparation for Manufacturing of Aluminum Nitride Layers

Date issued

2013

Journal Title

Journal ISSN

Volume Title

Publisher

Západočeská univerzita v Plzni, Fakulta elektrotechnická

Abstract

Description

Subject(s)

tenké vrstvy, depozice, nitridy hliníku, suché leptání, zkoušení materiálu

Citation

Electroscope. 2013, č. 5, EEICT + EDS.
OPEN License Selector