Optimalizace naprašované transparentní vodivé zárodečné ZnO vrstvy pro flexibilních zařízení založené na ZnO nanotyčinkách

Abstract

Výroba anorganických průhledných vodivých oxidových vrstev na polymerních substrátech se těší rostoucímu zájmu vzhledem k jejich možnému použití v oblasti flexibilní elektroniky. Předmětem této práce je nahrazení vrstev obsahující indium vrstvou hliníkem dopovaného oxidu zinečnatého (AZO) v zařízeních založených na ZnO-nanotyčinkách. Vrstvy kombinují úlohu zárodečných vrstev s povrchovým odporem menším než 100 Ω/sq. Zkoumané AZO vrstvy o tloušťce až 300 nm byly naneseny na substrátech z polyethylentereftalátu o tloušťce 150 um (i) vysokofrekvenčním magnetronovým rozprašováním z terče ZnO / Al2O3 a (ii) rozprašováním z terčů ZnO a Al v argonové atmosféře . Bylo zjištěno, že naprašování ze keramického a kovového terče vede k nižšímu rezistivitě filmu v důsledku lepší aktivace donorů Al ve vrstvě AZO. Růst nanotyčinek ZnO byl prokázán u obou typů filmu. Naprášené AZO vrstvy byly pokryty nedopovanou vrsvou ZnO pro zlepšení morfologie nanotyčinekZnO.

Description

Subject(s)

flexibilní podklad, oxid zinečnatý, nanorod, Seedová vrstva, magnetronové naprašování, transparentní vodivý oxid

Citation

NOVÁK, P., BRISCOE, J., KOZÁK, T., KORMUNDA, M., NETRVALOVÁ, M., BACHRATÁ, Š. Optimization of sputtered ZnO transparent conductive seed layer for flexible ZnO-nanorod-based devices. Thin Solid Films, 2017, roč. 634, č. JUL 31 2017, s. 169-174. ISSN 0040-6090.
OPEN License Selector